默克专利有限公司明石一通获国家专利权
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龙图腾网获悉默克专利有限公司申请的专利正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113632007B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080025092.2，技术领域涉及：G03F7/039；该发明授权正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法是由明石一通;浦部慈子;张锐;片山朋英设计研发完成，并于2020-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法在说明书摘要公布了：提供一种能够形成适合剥离的图案形状的正型抗蚀剂组合物。一种正型抗蚀剂组合物，其包含A特定的聚合物、B具有酰亚胺基的产酸剂、C溶解速度调节剂，和D溶剂。
本发明授权正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种正型抗蚀剂组合物，包含： A选自聚合物P和聚合物Q的至少一种聚合物，聚合物P含有选自式P‑1至P‑4的重复单元： 式中，Rp1、Rp3、Rp5和Rp8各自独立地为C1‑5烷基、C1‑5烷氧基或‑COOH，Rp2、Rp4和Rp7各自独立地为C1‑5烷基，这里，烷基中的‑CH2‑未被替代或被‑O‑替代，Rp6和Rp9各自独立地为C1‑5烷基，这里，烷基中的‑CH2‑未被替代或被‑O‑替代，x1为0～4，x2为1～2，其中x1+x2≤5，x3为0～5，x4为1～2，x5为0～4，其中x4+x5≤5，在聚合物A中，式P‑1、P‑2、P‑3和P‑4的重复单元数分别为np1、np2、np3和np4，它们满足下式： 30％≤np1np1+np2+np3+np4≤90％，0％≤np2np1+np2+np3+np4≤40％，0％≤np3np1+np2+np3+np4≤40％，并且0％≤np4np1+np2+np3+np4≤40％，聚合物Q包含由式Q‑1表示的重复单元： 式中，Rq1各自独立地为C1‑5烷基，y1是1～2，y2是0～3，其中y1+y2≤4其中，组合物中的聚合物P的总质量Mp和聚合物Q的总质量Mq满足：0MpMp+Mq≤90％，和10％≤MqMp+Mq70％； B具有酰亚胺基的产酸剂； C溶解速度调节剂，其是两个以上酚结构通过烃基连接的化合物，该烃基未被取代或被氧基取代；以及D溶剂。
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