东京毅力科创株式会社斋藤道茂获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利高频供电部件以及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113838737B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110684809.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权高频供电部件以及等离子体处理装置是由斋藤道茂;长畑阳介设计研发完成，并于2021-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本高频供电部件以及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种高频供电部件,其降低高频的传输路径中的热负载。该高频供电部件用于供给高频电力,其具有:内部导体,其形成中空；以及外部导体,其以包围上述内部导体的方式配置,在上述内部导体和上述外部导体的至少一者的壁面的内部设有制冷剂流路。
本发明授权高频供电部件以及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种高频供电部件,其用于供给高频电力,该高频供电部件具有: 内部导体,其形成中空；以及外部导体,其以包围上述内部导体的方式配置,在上述内部导体和上述外部导体的至少一者的外周面与内周面之间的壁体的内部设有制冷剂流路。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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