三安日本科技株式会社高桥敦哉获国家专利权
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龙图腾网获悉三安日本科技株式会社申请的专利弹性波装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114070247B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110599845.7,技术领域涉及:H03H9/145;该发明授权弹性波装置是由高桥敦哉;本山惠一郎设计研发完成,并于2021-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本弹性波装置在说明书摘要公布了:一种弹性波装置,包含基板、形成于所述基板上的弹性波组件、形成于所述基板上并连接所述弹性波组件的第一布线、形成于所第一布线上的第一绝缘体、形成于所述第一绝缘体上的第二布线、覆盖所述第一布线、所述第一绝缘体和所述第二布线的至少一部分的第二绝缘体,及覆盖所述第二绝缘体的至少一部分的第三绝缘体,所述第二布线包括隔着所述第一绝缘体与所述第一布线立体交叉的立体布线部,其中,所述第二绝缘体的压缩应力大于所述第一绝缘体的压缩应力,并且小于所述第三绝缘体的压缩应力。借此,提供一种高可靠度的弹性波装置。
本发明授权弹性波装置在权利要求书中公布了:1.一种弹性波装置,其特征在于: 所述弹性波装置包含基板、形成于所述基板上的弹性波组件、形成于所述基板上并连接所述弹性波组件的第一布线、形成于所第一布线上的第一绝缘体、形成于所述第一绝缘体上的第二布线、覆盖所述第一布线、所述第一绝缘体与所述第二布线的至少一部分的第二绝缘体,及覆盖所述第二绝缘体的至少一部分的第三绝缘体,所述第二布线包括隔着所述第一绝缘体与所述第一布线立体交叉的立体布线部,其中,所述第二绝缘体的压缩应力大于所述第一绝缘体的压缩应力,并且小于所述第三绝缘体的压缩应力,所述第二绝缘体的厚度范围为5—10nm,所述第三绝缘体的厚度为10—20nm。
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