荣昌化学制品株式会社李秀珍获国家专利权
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龙图腾网获悉荣昌化学制品株式会社申请的专利光刻用工艺液体组合物及使用其的图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114127639B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080051572.6，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权光刻用工艺液体组合物及使用其的图案形成方法是由李秀珍;金起洪;李昇勋;李昇炫设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻用工艺液体组合物及使用其的图案形成方法在说明书摘要公布了：本申请发明涉及一种在光致抗蚀剂图案工艺中改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷及减少缺陷数的工艺液体组合物及利用其的图案形成方法。其中，所述光致抗蚀剂图案具有对光致抗蚀剂表面的水的接触角为70°以上的疏水性。更详细地，本申请发明涉及一种工艺液体组合物，所述工艺液体组合物由0.00001至0.1重量％的氟系表面活性剂、0.0001至0.1重量％的烃系阴离子表面活性剂、0.0001至0.1重量％的碱性物质、及99.7至99.99979重量％的水组成，且表面张力为40mNm以下，接触角为60°以下。
本发明授权光刻用工艺液体组合物及使用其的图案形成方法在权利要求书中公布了：1.一种用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷及减少缺陷数的工艺液体组合物，所述工艺液体组合物包含表面活性剂，其特征在于，所述工艺液体组合物在光致抗蚀剂图案工艺中用于改善光致抗蚀剂图案的剥离缺陷及减少缺陷数，其中，所述光致抗蚀剂图案具有对光致抗蚀剂表面的水的接触角为70°以上的疏水性，所述工艺液体组合物的表面张力为40mNm以下，接触角为60°以下，所述用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷及减少缺陷数的工艺液体组合物由0.00001至0.1重量％的氟系表面活性剂、0.0001至0.1重量％的烃系阴离子表面活性剂、0.0001至0.1重量％的碱性物质及余量的水组成，其中，所述碱性物质选自由四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵或它们的混合物组成的组。
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