细美事有限公司权五烈获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置和确定基板处理工艺是否正常的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114202503B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111109952.3，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权用于处理基板的装置和确定基板处理工艺是否正常的方法是由权五烈;申秀娟;金铉厚;赵明赞设计研发完成，并于2021-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置和确定基板处理工艺是否正常的方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供一种使用深度学习模型来确定基板处理工艺是否正常的方法。该方法包括接收关于基板处理工艺视频的输入，对输入的视频进行预处理，使用深度学习模型对预处理的视频进行研究，以及通过将训练的模型和实时基板处理工艺视频进行比较来确定基板处理工艺是否正常。
本发明授权用于处理基板的装置和确定基板处理工艺是否正常的方法在权利要求书中公布了：1.一种使用深度学习模型确定基板处理工艺是否正常的方法，所述方法包括： 接收关于基板处理的输入图像； 对所述输入图像进行预处理，包括：识别关于基板处理的所述输入图像中喷嘴的尖端区域，从要从其喷射化学品的所述喷嘴的所述尖端区域喷射化学品； 选择所识别的所述喷嘴的尖端区域作为感兴趣区域； 通过使用深度学习模型来学习被预处理的输入图像，包括：根据所述化学品的流速来学习所述感兴趣区域；和通过使用经训练的深度学习模型将实时基板处理工艺图像与所学习的数据进行比较，以确定基板处理工艺是否正常。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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