南亚科技股份有限公司林作信获国家专利权
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龙图腾网获悉南亚科技股份有限公司申请的专利半导体制造设备的控制系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114388399B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111149805.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体制造设备的控制系统及其控制方法是由林作信;陈忠恒;李俊德设计研发完成，并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体制造设备的控制系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种半导体制造设备的控制系统及其控制方法。该控制系统包括一感测器单元，经配置以记录该半导体制造设备一运转状态的一组数据；一感测器接口，经配置以接收该组数据且产生用于一数据服务器的至少一个输入信号；以及一控制单元。该控制单元包括一诊断子系统，执行一运转状态监控程序以判断该半导体制造设备是否发生一故障且产生一数据信号。
本发明授权半导体制造设备的控制系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造设备的控制系统，包括： 一感测器单元，经配置以记录该半导体制造设备的一运转状态相关的一组数据； 一感测器接口，经配置以接收该组数据且产生用于一数据服务器的至少一个输入信号；以及一控制单元，包括： 一前端子系统，经配置以由该数据服务器接收该至少一个输入信号且执行一前端程序以产生一第一数据信号； 一诊断子系统，接收该前端子系统的该第一数据信号，该诊断子系统执行一运转状态监控程序以判断该半导体制造设备是否发生一故障且产生一第二数据信号； 一决策子系统，经配置以根据该诊断子系统的该第二数据信号执行一人工智能分析程序以产生一输出信号，其中由该决策子系统执行的该人工智能分析程序还利用一统计模型预测以取得该半导体制造设备的一设备寿命预测分数，该设备寿命预测分数对应于该第一数据信号中该运转状态有关的该组数据；其中由该决策子系统所利用的统计模型预测识别该第二数据信号并分类为一匹配趋势组和一非匹配趋势组； 一信息与反馈子系统，根据该输出信号产生一警示信号以及一反馈信号，该信息与反馈子系统发送该警示信号至该半导体制造设备的一使用者。
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