北方夜视科技(南京)研究院有限公司邱祥彪获国家专利权
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龙图腾网获悉北方夜视科技(南京)研究院有限公司申请的专利高稳定性、高探测效率紫外光及X射线探测用微通道板及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020171B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210532661.3，技术领域涉及：H01J31/50；该发明授权高稳定性、高探测效率紫外光及X射线探测用微通道板及其制备方法是由邱祥彪;金戈;韦飞;陈波;王健;赵胜;张振;彭松武;张宏吉;林焱剑设计研发完成，并于2022-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本高稳定性、高探测效率紫外光及X射线探测用微通道板及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种高稳定性、高探测效率紫外光及X射线探测用微通道板及其制备方法，在微通道板的基础上，在微通道板输入面及通道一定深度处镀制具有高光电转化效率的膜层材料作为反射光电阴极；在镀制光电阴极材料之后，使用原子层沉积技术制备一层超薄厚度均匀的致密保护层，保护层材料包括氧化硅、氧化铪、氧化铝、氧化钛、氮化硅等，具有较强的阻隔水汽的能力，且具有一定的二次电子发射能力，降低对于MCP本身性能的影响。根据上述方法制备的MCP，可广泛应用于开放式结构探测器及相关设备中，能够承受多次真空与大气环境转换而不发生明显的变化，极大的拓展了卤化物等易受潮湿空气影响的材料作为MCP输入面反射式光电阴极的应用范围。
本发明授权高稳定性、高探测效率紫外光及X射线探测用微通道板及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高稳定性、高探测效率紫外光及X射线探测用微通道板，其特征在于，包括： 数百万个相互平行的通道式电子倍增单元排列而成的阵列式电子倍增器，每个电子倍增单元构成微通道结构；所述阵列式电子倍增器定义了输入面； 在输入面表面及电子倍增单元的通道内壁制备的具有光电转换功能的材料膜层形成反射式光电阴极，所述反射式光电阴极选择对于紫外光以及X射线具有高响应度的材料；以及在所述反射式光电阴极表面制备的致密的、厚度均匀的超薄防水保护层；超薄防水保护层的膜层总厚度控制在0.5nm～20nm； 其中，反射式光电阴极覆盖面为整个输入面表面以及通道内壁的预定深度，覆盖的深度范围控制在3D～20D，其中D为MCP的每个电子倍增单元的孔径，并且镀膜深度≥1tanθ，其中θ为电子倍增单元的斜切角。
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