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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种调焦调平测量方法及测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115185161B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110357191.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种调焦调平测量方法及测量系统是由李琛毅;李世光;钟志坚设计研发完成，并于2021-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种调焦调平测量方法及测量系统在说明书摘要公布了：本公开提供一种调焦调平测量方法及测量系统，方法包括：光学光栅经光束照明成像于被测对象表面以形成光学光栅图案，所述光学光栅图案进一步反射到光学传感器的成像平面上；对光学传感器上像素点进行编码，以实现在像素点上对光强信号的保持或清除，形成数字光栅图案；数字光栅与光学光栅的占空比相同，两者的周期之间具有预设差值；通过将光学光栅图案与数字光栅图案重叠来形成合成光栅图案；测量后将合成光栅图案进行光强积分来确定光学光栅图案在成像平面上的位移；根据位移与被测对象表面的高度之间的线性关系来确定所述被测对象表面的高度，相较于现有技术，能够提高调焦调平测量的速度和精度，可以降低测量系统的复杂度。

本发明授权一种调焦调平测量方法及测量系统在权利要求书中公布了：1.一种调焦调平测量方法，所述方法包括：光学光栅经光束照明成像于被测对象表面以形成光学光栅图案，所述光学光栅图案进一步反射到光学传感器的成像平面上，其特征在于，对所述光学传感器上像素点进行编码，以实现在像素点上对光强信号的保持或清除，从而形成数字光栅图案；所述数字光栅与所述光学光栅的占空比相同，两者的周期之间具有预设差值； 将所述光学光栅图案与所述数字光栅图案重叠得到第一合成光栅图案；将所述数字光栅图案编码取反后与所述光学光栅图案重叠得到第二合成光栅图案； 测量后将所述合成光栅图案进行光强积分来确定所述光学光栅图案在所述成像平面上的位移； 根据所述位移与所述被测对象表面的高度之间的线性关系来确定所述被测对象表面的高度； 其中，所述测量后将所述合成光栅图案进行光强积分来确定所述光学光栅图案在所述成像平面上的位移，包括： 测量后将所述第一合成光栅图案进行光强积分得到第一光强位置关系曲线； 测量后将所述第二合成光栅图案进行光强积分得到第二光强位置关系曲线； 将所述第一光强位置关系曲线和第二光强位置关系曲线进行归一化处理，得到归一化的差分莫尔条纹光强曲线； 根据预设相位提取算法得到所述差分莫尔条纹光强曲线的相位，将所述相位与参考相位比较得到相位变化值； 根据所述相位变化值与所述光学光栅图案在所述成像平面上的位移之间的线性关系确定所述位移； 所述根据预设相位提取算法得到所述差分莫尔条纹光强曲线的相位，包括： 对所述差分莫尔条纹光强曲线进行快速傅里叶变换，得到对应的频谱； 根据所述频谱中所含的谐波个数确定模态分解层数K值； 根据所述K值，将所述差分莫尔条纹光强曲线进行第一次变分模态分解，得到一系列本征模态函数； 对各个所述本征模态函数进行快速傅里叶变换，得到第一基波信号； 对所述第一基波信号进行第二次变分模态分解，得到降噪后的第二基波信号； 对所述第二基波信号进行希尔伯特变换得到所述差分莫尔条纹光强曲线的相位。

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