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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种硅MEMS振荡器和石英振荡器互同步增强方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115208318B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210789288.X，技术领域涉及：H03B5/04；该发明授权一种硅MEMS振荡器和石英振荡器互同步增强方法及系统是由韦学勇;徐铭柯;徐柳;齐永宏设计研发完成，并于2022-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅MEMS振荡器和石英振荡器互同步增强方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅MEMS振荡器和石英振荡器互同步增强方法及系统，硅MEMS振荡器的闭环振荡信号利用比较器调节幅度，然后通过加法器与石英振荡器反馈回路的信号耦合后注入石英振荡器，同时石英振荡器通过相同的方式将反馈信号注入硅MEMS振荡器，实现两个单向信号互注入；通过焦耳热调节硅MEMS振荡器频率实现互同步，利用硅材料半导体特性，通过产生的焦耳热和温度‑频率特性实现频率补偿，以提升硅MEMS振荡器的长时稳定性。此时与硅MEMS振荡器实现互同步的石英振荡器长时稳定性亦得到提升；实现硅MEMS振荡器和石英振荡器互同步增强。

本发明授权一种硅MEMS振荡器和石英振荡器互同步增强方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种硅MEMS振荡器和石英振荡器互同步增强方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、硅MEMS谐振结构和石英晶体分别经对应的闭环回路实现自激振荡，构成MEMS振荡器和石英振荡器； S2、将步骤S1中硅MEMS谐振结构产生的闭环振荡信号引出并调节幅值，然后与石英振荡器反馈回路的信号耦合后注入石英振荡器，同时石英振荡器将反馈信号注入硅MEMS振荡器，实现单向信号互注入； S3、通过焦耳热调节步骤S2的硅MEMS振荡器的频率，当MEMS振荡器和石英振荡器频率差小于同步带宽时，实现与石英振荡器的互同步，互同步后通过石英振荡器的短时高稳定性提升硅MEMS振荡器的短时稳定性； S4、采集步骤S3同步硅MEMS振荡器的频率； S5、将步骤S4采集的频率按实际频率与设定频率之间的误差转化为电压信号； S6、对步骤S5得到的电压信号进行数模电压转换，将偏置电压设置在硅MEMS谐振结构两端锚点，控制导通电流，利用温度变化补偿硅MEMS振荡器的频率偏移量； S7、步骤S6完成后返回步骤S4，通过循环补偿硅MEMS振荡器的频率偏移量提升长时稳定性，基于步骤S3实现MEMS振荡器短时稳定性提升的同时，实现石英振荡器和硅MEMS振荡器的互同步增强。

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