科磊股份有限公司A·潘迪获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利使用生成对抗网络的半导体制造过程参数确定获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115210718B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180018194.6,技术领域涉及:G06N3/0464;该发明授权使用生成对抗网络的半导体制造过程参数确定是由A·潘迪;W-S·R·李恩设计研发完成,并于2021-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用生成对抗网络的半导体制造过程参数确定在说明书摘要公布了:将装置设计文件及材料特性输入到经配置以操作生成对抗网络的神经网络模块中。基于装置设计文件及材料特性输入,使用所述生成对抗网络来确定过程参数。此可用于在半导体装置设计或制造期间提供过程参数。
本发明授权使用生成对抗网络的半导体制造过程参数确定在权利要求书中公布了:1.一种度量系统,其包括: 神经网络模块,其中所述神经网络模块经配置以操作生成对抗网络,其中所述生成对抗网络经配置以基于所述生成对抗网络的装置设计文件及材料特性输入来产生半导体装置设计的过程参数,其中所述装置设计文件包含用于半导体装置的裸片设计,且其中所述材料特性输入包含至少表示所述裸片设计的层的物理特性、形状、维度和材料的数值数据的矩阵。
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皖公网安备 34010402703815号
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