杰宜斯科技有限公司白承大获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115223892B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210415248.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由白承大;金成烨;朴峻求设计研发完成，并于2022-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明公开了基板处理装置及基板处理方法，基板处理装置包括：第一腔室部，处理包括卡环部和被切割的多个第一晶粒的第一晶圆部；第二腔室部，处理包括晶圆部或载体基板的第二晶圆部；以及第三腔室部，层叠并预键合在第一腔室部和第二腔室部中处理的第一晶圆部的第一晶粒和第二晶圆部。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 第一腔室部，处理包括卡环部和被切割的多个第一晶粒的第一晶圆部； 第二腔室部，处理具有晶圆部或载体基板的第二晶圆部；以及第三腔室部，层叠并预键合在所述第一腔室部中处理的所述第一晶圆部的所述第一晶粒和在所述第二腔室部中处理的所述第二晶圆部，在所述第三腔室部中，在所述第二晶圆部的每个第二晶粒层叠并预键合多个所述第一晶粒，每当在每个所述第二晶粒层叠并预键合1层所述第一晶粒时，所述第一晶圆部在所述第一腔室部中被清洗，或者所述第二晶圆部在所述第二腔室部中被清洗，所述第一腔室部还包括扩张机模块，所述扩张机模块包括扩张机移动部、扩张机头部以及多个扩张机臂部，所述扩张机头部包括： 扩张机套管部，与所述扩张机移动部连接； 多个扩张机滑块部，以能够径向移动的方式结合在所述扩张机套管部，且分别与所述扩张机臂部连接； 扩张机杆部，配置在所述扩张机套管部的内部，以使多个所述扩张机滑块部移动；以及扩张机驱动部，配置在所述扩张机套管部，以使所述扩张机杆部移动。
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