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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种压力控制装置和压力控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115346899B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211130244.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种压力控制装置和压力控制方法是由李慧;牛沛泽;王磊设计研发完成，并于2022-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种压力控制装置和压力控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种压力控制装置和方法。压力控制装置包括平衡阀，连通预载室以向预载室加压，其中预载室的第一端连接外部环境，而其第二端连接真空腔室，机械排气模块，连通预载室及外部环境，其中机械排气模块的触发气压为目标气压，目标气压大于外部环境气压，其中，压力控制装置被配置为：获取开启预载室的开启请求；根据开启请求开启平衡阀，以向预载室加压；监测机械排气模块是否被触发；响应于机械排气模块被触发的监测结果，关闭平衡阀；以及将预载室连通外部环境，以开放获取晶圆的入口。本发明不仅能避免在将晶圆送入预载室过程中外部尘粒进入预载室，影响半导体成品效果，而且还能取消对测压计的需求，从而降低装置成本并简化控制逻辑。

本发明授权一种压力控制装置和压力控制方法在权利要求书中公布了：1.一种压力控制装置，其特征在于，包括： 平衡阀，连通预载室以向所述预载室加压，其中，所述预载室的第一端连接外部环境，而其第二端连接真空腔室，以及机械排气模块，连通所述预载室及所述外部环境，所述机械排气模块包括泄压支撑基座、套接于所述泄压支撑基座外部的压力弹簧、套接于所述压力弹簧外部的密封罩、设置于所述压力弹簧下方的弹簧限位，其中，响应于所述弹簧限位被所述预载室内的压力向上顶，位于其上方的所述压力弹簧的弹性形变增大致使所述压力弹簧向上方弹性释放，以顶开所述泄压支撑基座与所述密封罩之间的密封接触，所述机械排气模块到达触发气压，所述触发气压为目标气压，且所述目标气压大于外部环境气压，其中，所述压力控制装置被配置为：获取开启所述预载室的开启请求；根据所述开启请求开启所述平衡阀，以向所述预载室加压；监测所述机械排气模块是否被触发；响应于所述机械排气模块被触发的监测结果，关闭所述平衡阀；以及将所述预载室连通所述外部环境，以开放获取晶圆的入口。

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