长鑫存储技术有限公司贺吉获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利晶圆测试方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115542113B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211120166.8，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权晶圆测试方法、装置、设备及存储介质是由贺吉设计研发完成，并于2022-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆测试方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本公开提供一种晶圆测试方法、装置、设备及存储介质，晶圆测试方法包括：获取晶圆的批次信息和多组预设测试条件；基于每组预设测试条件，对同批次晶圆中预设数量的裸片分别进行测试，获得每组预设测试条件对应的目标采样时间点；根据每组预设测试条件及其对应的目标采样时间点，对同批次晶圆中剩余的裸片进行测试。通过获得每组预设测试条件下同批次晶圆中预设数量的裸片的目标采样点，再根据获得目标采样点的预设测试条件和晶圆批次信息，对相同条件的剩余裸片进行测试，以降低晶圆测试过程中的采样时间点与裸片的输出信号的时间点的差异，提高晶圆测试的准确性和裸片的良率。
本发明授权晶圆测试方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试方法，其特征在于，所述晶圆测试方法包括： 获取晶圆的批次信息和多组预设测试条件； 基于每组所述预设测试条件，对同批次晶圆中预设数量的裸片分别进行测试，获得每组所述预设测试条件对应的目标采样时间点； 根据每组所述预设测试条件及其对应的所述目标采样时间点，对所述同批次晶圆中剩余的裸片进行测试； 每组所述预设测试条件包括温度信息以及多个电压信息； 基于每组所述预设测试条件，对同批次晶圆中预设数量的裸片分别进行测试，获得每组所述预设测试条件对应的目标采样时间点，包括： 在每组所述预设测试条件下，分别向预设数量中的每个所述裸片执行写读操作，采集所述裸片的测试信息； 当所述测试信息满足预设条件时，停止测试并获取停止测试时刻的时间信息作为参考时间信息； 根据所述参考时间信息，确定每组所述预设测试条件对应的目标采样时间点。
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