长鑫存储技术有限公司刘啸君获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种缺口覆盖异常的检测方法、系统、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115619761B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211370150.2，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种缺口覆盖异常的检测方法、系统、设备及存储介质是由刘啸君设计研发完成，并于2022-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种缺口覆盖异常的检测方法、系统、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本公开实施例公开一种缺口覆盖异常的检测方法、系统、设备及存储介质，所述方法包括：确定晶圆外接圆图片中的缺口位置，构建与缺口标签面积成比例且能覆盖缺口的感兴趣区域；判断所述感兴趣区域的平均像素值是否在预设像素值集合内；当所述感兴趣区域的平均像素值在预设像素值集合内时，确定所述缺口标签覆盖晶圆缺口；否则，在所述晶圆外接圆图片内移动所述感兴趣区域，直至所述感兴趣区域的平均像素值在预设像素值集合内，且感兴趣区域的中心与缺口的中心距离在预设范围内时，确定所述缺口标签覆盖晶圆缺口。利用本公开的示例性实施例，能够事前检测缺口是否在缺口标签的合理范围内，解决了缺口和缺口标签不匹配造成的持续良率损失的问题。
本发明授权一种缺口覆盖异常的检测方法、系统、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种缺口覆盖异常的检测方法，其特征在于，包括： 确定晶圆外接圆图片中的缺口位置，构建与缺口标签面积成比例且能覆盖缺口的感兴趣区域； 判断所述感兴趣区域的平均像素值是否在预设像素值集合内； 当所述感兴趣区域的平均像素值在预设像素值集合内时，确定所述缺口标签覆盖晶圆缺口； 否则，在所述晶圆外接圆图片内移动所述感兴趣区域，直至所述感兴趣区域的平均像素值在预设像素值集合内，且感兴趣区域的中心与缺口的中心距离在预设范围内时，确定所述缺口标签覆盖晶圆缺口。
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