长鑫存储技术有限公司尤康获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利半导体结构及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115692320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110833035.3,技术领域涉及:H10D84/03;该发明授权半导体结构及其制作方法是由尤康;白杰设计研发完成,并于2021-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体结构及其制作方法在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种半导体结构及其制作方法,包括:提供包括核心NMOS区、核心PMOS区及外围NMOS区的基底;对核心PMOS区的基底进行氧化处理,以将核心PMOS区部分厚度的基底转化为氧化层;去除氧化层;在核心PMOS区的剩余基底上形成第一半导体层,第一半导体层中的空穴迁移率大于核心PMOS区的基底中的空穴迁移率;形成栅介质层,栅介质层位于第一半导体层上、核心NMOS区以及外围NMOS区的基底上;在栅介质层上形成栅极。本申请实施例涉及半导体领域,有利于降低核心PMOS区及核心NMOS区的高度差,从而便于后续的生产工艺。
本发明授权半导体结构及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构的制作方法,其特征在于,包括: 提供包括核心NMOS区、核心PMOS区及外围NMOS区的基底; 在所述核心PMOS区的所述基底表面形成第一阻挡层; 对所述核心PMOS区的所述基底进行氧化处理,以将所述核心PMOS区部分厚度的所述基底转化为氧化层; 去除位于所述核心PMOS区的所述第一阻挡层; 去除所述氧化层; 在所述核心PMOS区的剩余所述基底上形成第一半导体层,所述第一半导体层中的空穴迁移率大于所述核心PMOS区的所述基底中的空穴迁移率; 形成栅介质层,所述栅介质层位于所述第一半导体层上、所述核心NMOS区以及所述外围NMOS区的所述基底上; 在所述栅介质层上形成栅极。
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