买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉南京宁麒智能计算芯片研究院有限公司申请的专利一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115790160B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211440782.1，技术领域涉及：F27B17/00；该发明授权一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉是由张璇;王杰;汪晨冉;范静;高越雯设计研发完成，并于2022-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，涉及到退火炉技术领域，包括设备箱，所述设备箱的底端固定连接有底座，所述底座的底端固定连接有支撑脚，所述设备箱的表面固定安装有控制面板，所述设备箱的表面固定安装有紧急开关，所述设备箱的顶端固定安装有加工台，所述加工台上固定安装有下箱体，所述下箱体的后侧铰接有合页，所述合页的另一侧铰接在上箱体上，所述上箱体上固定连接有把手。本发明结构合理，实现了通过送料组件上的载物台对硅晶元片进行放置，然后通过动力组件带动送料组件上的螺纹杆进行转动，通过螺纹杆的转动使载物台移动到退火炉本体的内部进行加工。

本发明授权一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉在权利要求书中公布了：1.一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，包括设备箱1，其特征在于，所述设备箱1的底端固定连接有底座101，所述底座101的底端固定连接有支撑脚102，所述设备箱1的表面固定安装有控制面板103，所述设备箱1的表面固定安装有紧急开关104，所述设备箱1的顶端固定安装有加工台105，所述加工台105上固定安装有下箱体106，所述下箱体106的后侧铰接有合页107，所述合页107的另一侧铰接在上箱体108上，所述上箱体108上固定连接有把手109； 所述上箱体108的顶端固定安装有加热设备110，所述上箱体108的内部固定安装有加热管112，所述加热设备110与加热管112相互连接，所述下箱体106的内部设置有退火炉本体113，所述退火炉本体113的一侧设置有入料口114； 还包括紧固组件、送料组件和动力组件，所述紧固组件用于对下箱体106与上箱体108之间进行安装，所述送料组件用于将物料送入到退火炉本体113的内部进行加工，所述动力组件用于配合所述送料组件进行使用； 所述紧固组件包括固定安装在所述上箱体108上的卡扣2，所述卡扣2的底端插设在操作盒201的内部，所述操作盒201固定安装在所述下箱体106的表面，所述操作盒201的内部转动连接有转轴202，所述转轴202上固定安装有凸轮轴203，所述转轴202的一端延伸至所述操作盒201外，所述转轴202的一端固定安装有调节盘204，所述操作盒201的内部固定连接有一对滑杆205，一对所述滑杆205的一端固定连接有限位片206，一对滑杆205上滑动套设有同一个移动板207，所述移动板207的一侧固定连接有卡块208，所述移动板207的另一侧固定连接有拉杆209，所述拉杆209的另一端延伸至所述操作盒201外，所述拉杆209的另一端固定安装有控制杆210。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京宁麒智能计算芯片研究院有限公司，其通讯地址为：211100 江苏省南京市江宁区麒麟科技创新园智汇路300号B单元二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。