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龙图腾网获悉西湖大学申请的专利用于扫描微探针对准的纳米压印装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115826351B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210885203.8，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权用于扫描微探针对准的纳米压印装置及其控制方法是由郑小睿;尚鸿鹏;文燎勇设计研发完成，并于2022-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于扫描微探针对准的纳米压印装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于扫描微探针对准的纳米压印装置，该方案包括样品台、可加热微探针、设于该可加热微探针上的第一压力传感器、对准光路、光源系统、纳米压印头、设于该纳米压印头上的第二压力传感器、三轴驱动机构及计算机；可加热微探针、第一压力传感器、对准光路、光源系统、纳米压印头、第二压力传感器及三轴驱动机构均与计算机通信连接构成闭环反馈系统；计算机实时获取可加热微探针以及纳米压印头的位置坐标数据，以及第一压力传感器和第二压力传感器的压力数据，以计算得出纳米压印头两次压印后对应点之间的误差数据并进行补偿压印。本申请具有提高微纳米图案化效率，实现了小面积压印母模板多次拼接压印实现大面积的微纳米图案化，同时能够减少工艺成本，提高对准精度。

本发明授权用于扫描微探针对准的纳米压印装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.用于扫描微探针对准的纳米压印装置，其特征在于，包括用于放置样品的样品台、用于在样品表面烧蚀标记的可加热微探针、设于该可加热微探针上的第一压力传感器、用于可加热微探针和纳米压印粗对准的对准光路、用于提供不同波长光的光源系统、用于对材料表面进行压印的纳米压印头、设于该纳米压印头上的第二压力传感器、用于驱动所述可加热微探针和所述纳米压印头沿X‑Y‑Z三轴移动的三轴驱动机构及用于处理计算的计算机； 所述可加热微探针、所述第一压力传感器、所述对准光路、所述光源系统、所述纳米压印头、所述第二压力传感器及所述三轴驱动机构均与所述计算机通信连接构成闭环反馈系统； 所述计算机实时获取所述可加热微探针以及所述纳米压印头的位置坐标数据，以及所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的压力数据，以计算得出所述纳米压印头两次压印后对应点之间的误差数据并进行补偿压印； 其中，所述可加热微探针的针尖上设有电加热结构；所述光源系统的光源通过光耦合光路与所述纳米压印头连接。

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