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龙图腾网获悉深圳优普莱等离子体技术有限公司申请的专利一种镀膜用测温系统及安装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115950545B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211694520.8，技术领域涉及：G01K7/02；该发明授权一种镀膜用测温系统及安装方法是由李长辉;陈云;全峰设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种镀膜用测温系统及安装方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种镀膜用测温系统及安装方法，所述测温系统通过热电偶与真空密封组件连接后安装在腔体上的设置方式，且配合进入腔体的真空腔室中的热电偶上测量端可弯折或伸直，从而使热电偶上测量端与基片台上测量孔配合连接，进而在为表面积更大或更小的零部件镀膜相应更改基片台时，无需再重新安装热电偶，从而提高工作效率，并保证腔体的真空腔室的密封性，提高测温效果。

本发明授权一种镀膜用测温系统及安装方法在权利要求书中公布了：1.一种镀膜用测温系统的安装方法，其特征在于，包括： 所述镀膜用测温系统包括： 腔体，设有真空腔室； 基片台，与所述腔体连接，且位于所述真空腔室内，所述基片台用于放置待镀膜产品； 热电偶，所述热电偶伸入所述真空腔室内的测量端可弯折，所述基片台设有测量孔，且所述热电偶的测量端与所述基片台的测量孔可拆卸连接，所述热电偶用于测量所述基片台的温度；所述热电偶采用耐热蚀镍基合金材料； 真空密封组件，连接所述腔体和所述热电偶，以使所述真空腔室处于真空密封； 所述真空密封组件包括： 底部法兰，与所述腔体密封连接； 夹紧块，与所述底部法兰背离所述腔体的一侧连接； 保护环，连接所述底部法兰和所述腔体； 所述底部法兰设有第一密封孔，所述保护环设有第二密封孔，所述夹紧块设有密封切口，所述热电偶依次通过所述密封切口、所述第一密封孔及所述第二密封孔与所述基片台连接； 所述热电偶包括： 测量部，位于所述真空腔室内，且所述测量端设于所述测量部的尾端； 连接部，分别与所述夹紧块、所述底部法兰及所述保护环连接； 护套部，位于所述真空腔室外，所述连接部的两端分别连接所述测量部和所述连接部； 所述密封切口为刀口，所述夹紧块上设有夹紧孔； 所述真空密封组件还包括螺钉，所述螺钉通过所述夹紧孔与所述夹紧块连接，以使所述热电偶紧固于所述夹紧块； 所述夹紧块上设有两个第一安装孔，所述底部法兰上对应设有两个第一螺纹孔；所述真空密封组件还包括第一螺栓，所述第一螺栓依次通过所述第一安装孔、第一螺纹孔连接所述夹紧块和所述底部法兰； 所述底部法兰上设有多个第二安装孔，所述腔体上设有第二螺纹孔；所述真空密封组件还包括第二螺栓，所述第二螺栓依次通过所述第二安装孔、第二螺纹孔密封连接所述底部法兰和所述腔体； 所述基片台的测量孔设有多个，且多个所述测量孔呈阵列分布； 所述镀膜用测温系统的安装方法包括如下步骤： 将热电偶与真空密封组件连接后，将真空密封组件安装于腔体上，以使热电偶的测量端伸入真空腔室内； 当基片台上测量孔的位置与预设基片台上测量孔的位置不同时，控制热电偶上测量端进行弯曲，使得弯曲后热电偶上测量端的位置与基片台上测量孔的位置相同；其中，所述预设基片台上测量孔的位置为热电偶上测量端的初始位置； 将基片台连接于腔体，且位于腔体的真空腔室中，以使弯曲后热电偶上测量端与基片台上测量孔配合连接； 当基片台上测量孔的位置与预设基片台上测量孔的位置相同时，将基片台连接于腔体，且位于腔体的真空腔室中，以使热电偶上测量端与基片台上测量孔配合连接。

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