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龙图腾网获悉河南通用智能装备有限公司申请的专利一种晶圆加工设备及晶圆加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115954295B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211534983.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆加工设备及晶圆加工方法是由陶为银;蔡正道;乔赛赛;闫兴设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工设备及晶圆加工方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆加工设备及晶圆加工方法，包括机架、储料机构、对位机构、用于对产品的DAF膜进行冷扩的冷扩机构、用于对产品的UV膜进行热缩的热缩机构、清洗机构以及UV解胶机构，还包括推移夹取组件和中转台、用于将储料机构中的产品转移至对位机构的一号转移机构、用于将对位机构中的产品转移至中转台的二号转移机构、用于将产品在冷扩机构和中转台之间转运的推移夹取组件、用于将中转台中的产品转移至热缩机构的三号转移机构，三号转移机构还用于将热缩机构中的产品转移至清洗机构，一号转移机构还用于将产品在清洗机构和UV解胶机构之间转运。优点：提高了DAF膜的切割分离质量，提高了封装良率，提高了生产效率并降低了生产成本。

本发明授权一种晶圆加工设备及晶圆加工方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工设备，包括机架1，其特征在于：所述机架1上设置有用于储存产品的储料机构2、用于对产品进行校正的对位机构3、用于对产品的DAF膜进行冷扩的冷扩机构4、用于对产品的UV膜进行热缩的热缩机构5、用于对产品表面进行清洗的清洗机构10以及用于对清洗后的产品进行解胶的UV解胶机构6，还包括设置在冷扩机构4和热缩机构5之间的推移夹取组件83和中转台82、设置在机架1上用于将产品在储料机构2和对位机构3之间转运的一号转移机构7、用于将对位机构3中的产品转移至中转台82的二号转移机构8、用于将产品在冷扩机构4和中转台82之间转运的推移夹取组件83、用于将中转台82中的产品转移至热缩机构5的三号转移机构93，所述三号转移机构93还用于将热缩机构5中的产品转移至清洗机构10，所述一号转移机构7还用于将产品在清洗机构10和UV解胶机构6之间转运； 所述储料机构2、UV解胶机构6、冷扩机构4和热缩机构5分别设置在机架1的四角，所述储料机构2和UV解胶机构6对应设置，所述储料机构2的出料口与UV解胶机构6的进料口对应，所述对位机构3设置在储料机构2和UV解胶机构6之间，所述清洗机构10设置在对位机构3下方，所述冷扩机构4并列设置在UV解胶机构6一侧，所述热缩机构5设置在储料机构2一侧并与冷扩机构4对应，所述三号转移机构93为设置在热缩机构5和冷扩机构4之间的旋转机械手，所述中转台82与对位机构3并列设置，所述二号转移机构8包括设置在机架1上的横梁81、设置在横梁81上的双轴移动机构84和设置在双轴移动机构84输出端的吸盘85； 所述储料机构2包括供料架21，所述供料架21上设置有用于放置产品的弹夹22以及用于驱动弹夹22升降的一号伺服模组23，所述对位机构3包括沿X方向设置的一号丝杆模组31以及对称设置在两个托举臂32，两个所述托举臂32可在一号丝杆模组31的驱动下同向或反向运动，两个所述托举臂32相对一侧设置有用于承载产品的台阶321。

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