佛山市国星半导体技术有限公司张文燕获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山市国星半导体技术有限公司申请的专利用于LED倒装芯片的外延结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116190504B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211653173.4,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权用于LED倒装芯片的外延结构及其制备方法是由张文燕;胡清富;徐亮;武杰;徐金荣设计研发完成,并于2022-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于LED倒装芯片的外延结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,具体公开一种用于LED倒装芯片的外延结构及其制备方法,包括:提供一衬底;在衬底上外延生长外延层;所述外延层包括沿外延方向依次沉积的多量子阱层及P型层;所述多量子阱层包括周期性依次交替生长的BGaN阱前保护层、InGaN阱层、BGaN阱后保护层及N‑GaN垒层;所述P型层包括沿外延方向依次沉积的绝缘保护层及P‑GaN层,所述绝缘保护层为未故意掺杂P型杂质的BGaNGaN超晶格结构。本发明的制备方法可有效提升外延结构晶体质量,降低位错密度,减少漏电及电子溢流,并提高小电流下的串联体电阻,提升LED倒装芯片小电流下的开启电压,解决现有技术中LED倒装芯片在小电流下电流小于1uA存在暗亮不均的问题。
本发明授权用于LED倒装芯片的外延结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种用于LED倒装芯片的外延结构的制备方法,其特征在于,包括: 提供一衬底; 在衬底上外延生长外延层; 所述外延层包括沿外延方向依次沉积的多量子阱层及P型层; 所述多量子阱层包括周期性依次交替生长的BGaN阱前保护层、InGaN阱层、BGaN阱后保护层及N‑GaN垒层; 所述P型层包括沿外延方向依次沉积的绝缘保护层及P‑GaN层,所述绝缘保护层为未故意掺杂P型杂质的BGaNGaN超晶格结构,所述绝缘保护层能够提高电流小于1uA时的串联体电阻,提升LED倒装芯片在该电流下的开启电压。
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