成都高真科技有限公司刘钟埈获国家专利权
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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116786028B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210247749.0,技术领域涉及:B01J3/00;该发明授权真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法是由刘钟埈设计研发完成,并于2022-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法,涉及半导体制造技术领域,其技术方案要点是:包括以真空管道依次连接的反应室、自动压力控制器、门阀、真空泵和洗涤器,所述自动压力控制器两侧的真空管道与真空泵的输入端之间设有第一抽吸管路;自动压力控制器的外侧与真空泵的输入端之间设有第二抽吸管路;当自动压力控制器拆卸后,关闭门阀,并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。本发明能够同时从内外两点对扩散的粉尘进行抽吸处理,既有效降低了粉尘扩散到外部环境的速率和量,又使得内外两点抽吸工作能够有效降低洗涤器处理的抽吸总量,延长了洗涤器的使用寿命。
本发明授权真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置及方法在权利要求书中公布了:1.真空管道中真空设备分离过程防止烟气扩散的装置,包括以真空管道依次连接的反应室1、自动压力控制器2、门阀3、真空泵4和洗涤器13,其特征是,所述自动压力控制器2两侧的真空管道与真空泵4的输入端之间设有第一抽吸管路; 自动压力控制器2的外侧与真空泵4的输入端之间设有第二抽吸管路; 当自动压力控制器2拆卸后,关闭门阀3,并同时开启第一抽吸管路、第二抽吸管路进行粉尘抽吸工作。
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