南京大学王欣然获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利带有空气隔墙的二维材料器件结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116799071B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310173121.5，技术领域涉及：H10D30/67；该发明授权带有空气隔墙的二维材料器件结构及其制备方法是由王欣然;范东旭;李卫胜;邱浩;施毅设计研发完成，并于2023-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本带有空气隔墙的二维材料器件结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开带有空气隔墙的二维材料器件结构及其制备方法，该二维材料器件结构的构成包括为衬底、栅极、绝缘介质层、二维材料薄膜和源漏电极，二维材料薄膜与绝缘介质层以及被介质层包裹的栅极的侧壁形成空气隔墙，或者绝缘介质层与栅极之间形成空气隔墙。本发明的制备方法不需要额外的光刻步骤，通过调整栅极金属的蒸镀厚度即可实现。上述结构的二维材料器件结构利用了二维材料的延展性和柔性，减小了栅极与源漏电极之间的耦合，从而减小寄生电容，降低电路延迟。同时结构保证有一部分源漏电极与二维材料接触区域可以被栅极调控，避免降低电学性能，可以保持低的器件电阻。该发明可以应用于高速高频电子器件领域。
本发明授权带有空气隔墙的二维材料器件结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.带有空气隔墙的二维材料器件结构，包括衬底1，其特征在于，在衬底1的上侧依次设有栅极5、绝缘介质层2、二维材料薄膜3和源漏电极4，所述的二维材料器件结构内部含有气隙空间即空气隔墙6，在栅极5的上侧贴合覆盖绝缘介质层2，二维材料薄膜3覆盖在绝缘介质层2上方，源漏电极4覆盖在二维材料薄膜3上方，二维材料薄膜3与绝缘介质层2的侧面形成夹角，使一部分二维材料薄膜3悬空，二维材料薄膜3与绝缘介质层2之间的空隙即为空气隔墙6。
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