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河南欣维捷科技有限公司梅方胜获国家专利权

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龙图腾网获悉河南欣维捷科技有限公司申请的专利一种钨掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117049860B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311056209.5,技术领域涉及:C04B35/01;该发明授权一种钨掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用是由梅方胜;陈明威;崔艳设计研发完成,并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种钨掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种钨掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用,将氨气通入铟金属盐溶液中进行气液沉淀反应获得氢氧化铟前躯体浆料,固液分离获得氢氧化铟粉体,将氢氧化铟粉体煅烧获得氧化铟粉体,将氢氧化铟粉末、氧化铟粉体、氧化钨粉末进行湿法球磨,获得球磨料,将球磨料进行造粒获得造粒粉体,造粒粉体压制成型获得生坯,将生坯于氧气气氛下烧结即得相对密度60~64%的IWO靶材。本发明中的制备方法,未加分散剂和粘结剂,无需脱脂工序,简化制备流程的同时有利于控制靶材产品的品质,所提供的IWO靶材,具有均匀多孔结构、不易开裂及良好的镀膜特性。本发明的制备工艺流程简单、成本低,低碳环保且产品性能可控的优势。

本发明授权一种钨掺杂氧化铟靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种钨掺杂氧化铟靶材的制备方法,其特征在于:控制铟金属盐溶液的初始pH值≤0.5,将氨气通入铟金属盐溶液中于70~80℃进行气液沉淀反应,直至pH值为8~9,停止通入氨气,继续保温60~240min,获得氢氧化铟前躯体浆料,固液分离获得氢氧化铟粉体,将氢氧化铟粉体煅烧获得氧化铟粉体,将氢氧化铟粉末、氧化铟粉体、氧化钨粉末进行湿法球磨,获得球磨料,将球磨料进行造粒获得造粒粉体,造粒粉体压制成型获得生坯,将生坯于氧气气氛下烧结即得钨掺杂氧化铟靶材; 所述氨气通入铟金属盐溶液中的流速为2~10 Lmin; 所述氢氧化铟粉体的粒度D50为2~10 μm; 所述氢氧化铟粉末、氧化铟粉体、氧化钨粉末的质量比为5~20: 79~85:1~10; 所述造粒粉体的粒径D50为40~60 μm; 所述烧结的过程为:先以10~200℃h的升温速率升温至600~900℃进行第一段烧结,控制第一段烧结时保温的时间为30~100 min,通入氧气的流量为5~20Lmin;然后以60~200℃h的升温速率升温至1100~1350℃进行第二段烧结,控制第二段烧结时保温的时间为30~120 min,通入氧气的流量为10~30Lmin,再以200~300℃h的升温速率升温至1400~1500℃进行第三段烧结,控制第三段烧结时保温的时间为240~480 min,通入氧气的流量为20~50Lmin。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人河南欣维捷科技有限公司,其通讯地址为:450001 河南省郑州市国家高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心二号楼B1126-1127;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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