江苏微导纳米科技股份有限公司周兴宝获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利原子层沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117051378B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310848059.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权原子层沉积设备是由周兴宝;毛文瑞;潘景伟;廖宝臣;黎微明设计研发完成，并于2023-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种原子层沉积设备。原子层沉积设备包括负压泵和工艺腔体。负压泵通过第一气流管路和第二气流管路分别与工艺腔体连通。第一气流管路和第二气流管路分别设置有第一阀门和第二阀门，并且第一气流管路和第二气流管路中的至少一者串联设置有冷阱。工艺腔体还设置有第一进气道、第二进气道和第三进气道，用于分别供第一工艺气体、第二工艺气体和惰性保护气进入工艺腔体。通过上述方式，本申请能够减少原子层沉积设备中粉尘的产生，减少管路堵塞和设备损伤。
本发明授权原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备，其特征在于，包括：负压泵和工艺腔体，所述负压泵通过第一气流管路和第二气流管路分别与所述工艺腔体连通，所述第一气流管路和所述第二气流管路分别设置有第一阀门和第二阀门，并且所述第一气流管路和所述第二气流管路中的至少一者串联设置有冷阱，所述工艺腔体还设置有第一进气道、第二进气道和第三进气道，用于分别供第一工艺气体、第二工艺气体和惰性保护气进入所述工艺腔体； 在所述第一阀门为打开状态且所述第二阀门为关闭状态下，在所述工艺腔体内通入第一工艺气体； 通入惰性气体清扫所述工艺腔体； 在通入所述惰性气体清扫所述工艺腔体的后半段时间内，将所述第二阀门切换为打开状态，将所述第一阀门切换为关闭状态；其中，所述第二阀门打开时机早于所述第一阀门关闭的时机； 在所述第二阀门处于打开状态且所述第一阀门处于关闭状态下，在所述工艺腔体内通入第二工艺气体。
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