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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利原子层沉积工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117051379B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310850249.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权原子层沉积工艺方法是由周兴宝;毛文瑞;潘景伟;廖宝臣;黎微明设计研发完成，并于2023-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本原子层沉积工艺方法在说明书摘要公布了：本申请公开了原子层沉积工艺方法。原子层沉积工艺方法包括：第一次阀门切换，将第一阀门切换为打开状态，并且将第二阀门切换为关闭状态。第一次工艺气体通入，通过第一进气道持续通入第一工艺气体。第一次清洁吹扫，通过第三进气道持续通入惰性保护气。第二次阀门切换，将第一阀门切换为关闭状态，并且将第二阀门切换为打开状态。第二次工艺气体通入，通过第二进气道持续通入第二工艺气体。第二次清洁吹扫，通过第三进气道持续通入惰性保护气。通过上述方式，本申请能够减少原子层沉积设备中粉尘的产生，减少管路堵塞和设备损伤。

本发明授权原子层沉积工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积工艺方法，其特征在于，包括：提供工艺腔体和负压泵，所述负压泵通过第一气流管路和第二气流管路分别与所述工艺腔体连通，所述第一气流管路和所述第二气流管路分别设置有第一阀门和第二阀门，并且所述第一气流管路和所述第二气流管路中的至少一者串联设置有冷阱，所述工艺腔体还设置有第一进气道、第二进气道和第三进气道，用于分别供第一工艺气体、惰性保护气和第二工艺气体进入所述工艺腔体； 第一次阀门切换，将所述第一阀门切换为打开状态，并且将所述第二阀门切换为关闭状态； 第一次工艺气体通入，通过所述第一进气道持续通入所述第一工艺气体； 第一次清洁吹扫，通过所述第三进气道持续通入所述惰性保护气； 第二次阀门切换，在通入所述惰性保护气进行第一次清洁吹扫的后半段时间内将所述第一阀门切换为关闭状态，并且将所述第二阀门切换为打开状态，其中，所述第二阀门打开的时机早于所述第一阀门关闭的时机； 第二次工艺气体通入，通过所述第二进气道持续通入所述第二工艺气体； 第二次清洁吹扫，通过所述第三进气道持续通入所述惰性保护气。

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