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龙图腾网获悉中晟半导体(上海)有限公司申请的专利一种用于MOCVD设备的上下料系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117284752B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311146978.4，技术领域涉及：B65G47/90；该发明授权一种用于MOCVD设备的上下料系统及方法是由李瑞;胡启凡;施广涛;吕青;万红;周赟设计研发完成，并于2023-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于MOCVD设备的上下料系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于MOCVD设备的上下料系统及方法，属于MOCVD领域，系统包括上料功能区、下料功能区、衬底搬送机械臂、托盘搬送机械臂以及上位机；上料功能区中设置有衬底上料工位、托盘上料工位以及组合工位，衬底上料工位中设有衬底上料盒，托盘上料工位中设有托盘上料盒，组合工位中设有用于检测衬底与托盘之间组合状态的检测装置；下料功能区中设有分离工位、托盘下料工位及衬底下料工位，分离工位中设有分离装置，托盘下料工位中设有托盘下料盒，衬底下料工位中设有衬底下料盒；上位机与衬底搬送机械臂、托盘搬送机械臂、检测装置及分离装置电性连接。本发明实现了对手动上下料的机械替代，不但能够提高效率，而且避免了上下料操作不稳定的缺点。

本发明授权一种用于MOCVD设备的上下料系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于MOCVD设备的上下料方法，其特征在于：所述方法应用于MOCVD设备的上下料系统，所述系统能够在大气环境下，通过上料功能区、下料功能区、衬底搬送机械臂、托盘搬送机械臂、上位机全自动地实现衬底与托盘的组合及分离功能； 所述上料功能区中设置有衬底上料工位、托盘上料工位以及组合工位，所述衬底上料工位中设有用于装载衬底的衬底上料盒，所述托盘上料工位中设有用于装载托盘的托盘上料盒，所述组合工位用于进行衬底与托盘的组合，且所述组合工位中设有用于检测衬底与托盘之间组合状态的检测装置； 所述下料功能区中设有分离工位、托盘下料工位及衬底下料工位，所述分离工位用于进行衬底与托盘的分离，且所述分离工位中设有用于将衬底从托盘中分离的分离装置，所述托盘下料工位中设有用于装载托盘的托盘下料盒，所述衬底下料工位中设有用于装载衬底的衬底下料盒； 所述衬底搬送机械臂的末端安装有用于操作衬底的衬底手爪，所述托盘搬送机械臂的末端安装有用于操作托盘的托盘手爪；所述衬底搬送机械臂和所述托盘搬送机械臂集成在同一台机械手驱动机构上，所述机械手驱动机构则包括升降机构和旋转机构； 其中，所述上位机与所述衬底搬送机械臂、所述托盘搬送机械臂、所述检测装置及所述分离装置电性连接； 所述方法包括以下步骤： 响应于启动信号，上位机分别向所述衬底搬送机械臂及所述托盘搬送机械臂发送衬底上料指令和托盘上料指令，其中，所述衬底搬送机械臂在执行所述衬底上料指令后，从所述衬底上料盒中取出衬底，所述托盘搬送机械臂在执行所述托盘上料指令后，从所述托盘上料盒中取出托盘； 上位机分别向所述托盘搬送机械臂以及所述衬底搬送机械臂发送组合指令，所述托盘搬送机械臂在执行所述组合指令后，将托盘放置于所述组合工位中，所述衬底搬送机械臂在执行所述组合指令后，将衬底放置于所述组合工位中的托盘内； 上位机向所述检测装置发送检测指令，所述检测装置在执行所述检测指令后获取用于表示衬底与托盘之间组合状态的检测结果； 上位机根据所述检测结果判断衬底与托盘是否准确组合，是则进入下一步，否则向所述衬底搬送机械臂发送调整指令且在所述调整指令被执行后返回上一步，所述衬底搬送机械臂执行所述调整指令后，对所述组合工位中的衬底进行重放置； 上位机向所述托盘搬送机械臂发送进料指令，所述托盘搬送机械臂在执行所述进料指令后，将所述组合工位中的托盘送入MOCVD设备； 响应于出料信号，上位机向所述托盘搬送机械臂发送出料指令，所述托盘搬送机械臂在执行所述出料指令后，将托盘从MOCVD设备搬送至所述分离工位； 上位机向所述分离装置发送分离指令，所述分离装置在执行所述分离指令后，将经过外延处理的衬底从托盘中拾起； 上位机向所述衬底搬送机械臂及所述托盘搬送机械臂发送衬底下料指令和托盘下料指令，其中，所述衬底搬送机械臂在执行所述衬底下料指令后，将经过外延处理的衬底从所述分离装置取走并放入至所述衬底下料盒中，所述托盘搬送机械臂在执行所述托盘下料指令后，将托盘从所述分离工位中取走并放入至所述托盘下料盒中。

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