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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种用于掩膜版生产用的喷压设备及其生产工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117448748B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311450401.2，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种用于掩膜版生产用的喷压设备及其生产工艺是由叶大成;赵敏;朱宏;徐华伟;倪源设计研发完成，并于2023-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于掩膜版生产用的喷压设备及其生产工艺在说明书摘要公布了：本发明属于掩膜版生产技术领域，尤其涉及一种用于掩膜版生产用的喷压设备，包括：两个支撑架，间隔设置于地面上；传输带，设置于两个支撑架之间；安装架，安装于两个支撑架上且位于传输带的上方；厚度检测装置，固定端安装于安装架底端，输出端朝向于传输带顶端；以及喷压装置，固定端安装于安装架顶端，输出端贯穿安装架朝向于传输带延伸；其中，所述喷压装置内放置侵蚀液，当掩膜版在所述传输带上移动时，所述厚度检测装置进行对掩膜版检测，然后所述喷压装置根据掩膜版的厚度情况进行喷淋侵蚀液，从而达到掩膜版的厚度统一；本发明的有益效果为；生产掩膜版厚度统一及防止喷压装置堵塞。

本发明授权一种用于掩膜版生产用的喷压设备及其生产工艺在权利要求书中公布了：1.一种用于掩膜版生产用的喷压设备，其特征在于，包括： 两个支撑架1，间隔设置于地面上； 传输带2，设置于两个支撑架1之间； 安装架3，安装于两个支撑架1上且位于传输带2的上方； 厚度检测装置，固定端安装于安装架3底端，输出端朝向于传输带2顶端； 以及喷压装置，固定端安装于安装架3顶端，输出端贯穿安装架3朝向于传输带2延伸； 其中，所述喷压装置内放置侵蚀液，当掩膜版在所述传输带2上移动时，所述厚度检测装置进行对掩膜版检测，然后所述喷压装置根据掩膜版的厚度情况进行喷淋侵蚀液，从而达到掩膜版的厚度统一； 所述喷压装置包括： 储液箱4，设置于安装架3顶端； 过滤收集机构，固定端设置于储液箱4顶端，输出端连通于储液箱4内，输入端位于储液箱4上方； 喷液机构，固定端安装于安装架3顶端内，输入端连通于连接于储液箱4内，输出端贯穿安装架3朝向于传输带2延伸； 其中，所述安装架3顶端设有供喷液机构安装的安装槽5，所述过滤收集机构用于将侵蚀液进行过滤然后排放至储液箱4内； 所述喷液机构包括： 安装箱22，设置于安装槽5内； 传输管23，一端位于安装架3下方，另一端依次贯穿安装架3、安装箱22、储液箱4底端及连通于储液箱4内； 空气雾化喷头24，连接于传输管23底端开口处； 以及流量调节结构，输出端连通于传输管23外侧壁内并且位于安装箱22内，输入端贯穿安装箱22连通于储液箱4内； 其中，所述传输管23与储液箱4连接处设有第一控制阀25，所述流量调节结构用于增加传输管23输出侵蚀液的流量； 所述流量调节结构包括： 第一活动套管26，活动套设于传输管23外侧壁上； 第二活动套管27，活动套设于第一活动套管26的外侧壁上； 第一伸缩缸28，固定端连接于安装箱22顶端内壁上，输出端连接于第一活动套管26的顶端； 第二伸缩缸29，固定端连接于安装箱22顶端内壁上，输出端连接于第二活动套管27的顶端； 以及输液组件，输入端贯穿安装箱22连通于储液箱4内，输出端分别贯穿第一活动套管26、第二活动套管27及连通于传输管23内； 其中，当所述第一伸缩缸28伸出时，所述第一活动套管26上的输液组件连通并且慢慢变大，当所述第二伸缩缸29伸出时，所述第二活动套管27上的输液组件连通并且慢慢变大； 所述输液组件包括： 两个第一输液管30，一端分别贯穿安装箱22顶端并且连通于储液箱4内，另一端分别贯穿第一活动套管26的两侧并且抵触于传输管23的外侧壁上； 两个第二输液管31，一端分别贯穿安装箱22顶端并且连通于储液箱4内，另一端分别贯穿第二活动套管27的两侧并且抵触于第一活动套管26两侧外侧壁； 以及四个第二控制阀32，分别设置于第一输液管30和第二输液管31内壁上； 其中，所述传输管23外侧壁上设有用于第一输液管30下降后连通的第一输液孔33，所述第一活动套管26外侧壁上设有用于第二输液管31直接连通的第二输液孔34，所述传输管23的外侧壁上设有用于第一活动套管26下降和第二活动套管27下降后第二输液管31连通的第三输液孔35。

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