苏州市富一达智能科技有限公司邢子扬获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州市富一达智能科技有限公司申请的专利一种半导体材料化学镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117467987B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311473697.X，技术领域涉及：C23C18/16；该发明授权一种半导体材料化学镀膜设备是由邢子扬;蒋春华;任国才设计研发完成，并于2023-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体材料化学镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体材料化学镀膜设备，包括治具，其内部设有用以容置待镀膜的半导体材料的腔体；固定支架，用以固定治具；还包括转动装置，与治具连接，用以带动治具转动；输入组件，其包括若干根同时与治具第一端入口连通的进液管道，且每一根进液管道分别连通不同类型的储液箱；还包括与治具第一端入口连通的进气管道，且进气管道与气源连通；输出组件，其包括若干根同时与治具第二端出口连通的出液管道，且每一根出液管道分别连通不同类型的储液箱；还包括若干根排液管道，一根排液管道对应连通一根出液管道，且每一根排液管道都连通废液箱；本设备可自动向治具内依次通入、排出不同的液体并摇曳治具，从而完成治具内半导体材料的镀膜。
本发明授权一种半导体材料化学镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体材料化学镀膜设备，包括设备本体，其特征在于：所述设备本体包括： 治具1，其内部设有用以容置待镀膜的半导体材料的腔体； 旋转支撑组件2，其包括固定支架2.1，用以固定治具1； 还包括转动装置2.4，与治具1连接，用以带动治具1转动； 输入组件3，其包括若干根同时与治具1第一端入口连通的进液管道3.1，且每一根进液管道3.1分别连通不同类型的储液箱3.2； 还包括与治具1第一端入口连通的进气管道3.3，且所述进气管道3.3与气源连通； 输出组件4，其包括若干根同时与治具1第二端出口连通的出液管道4.1，且每一根出液管道4.1分别连通不同类型的储液箱3.2； 还包括若干根排液管道4.2，一根排液管道4.2对应连通一根出液管道4.1，且每一根排液管道4.2都连通废液箱4.3。
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