佛山市国星半导体技术有限公司黎银英获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山市国星半导体技术有限公司申请的专利一种LED晶圆片的裂片方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117672835B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311720783.6,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权一种LED晶圆片的裂片方法是由黎银英;刘佑芝设计研发完成,并于2023-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LED晶圆片的裂片方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种LED晶圆片的裂片方法,涉及半导体技术领域,包括:在LED晶圆片的正面贴上白膜,并背面朝上放置在裂片机的工作台上;复位裂片机的劈刀和承受台;获取LED晶圆片正面的原始晶粒图像,并进行晶粒分区,LED晶圆片的内接正方形区域为A1区,非内接正方形区域为A2区;启动裂片机对LED晶圆片进行裂片;当劈刀仅对A2区进行劈裂时,承受台的间隙间距为c2;当劈刀对A1区和A2区同时进行劈裂时,承受台的间隙间距为c1,c1>c2。本发明通过将LED晶圆片分区域,并使承受台对应使用不同的间隙间距,能有效减少双胞的产生,有利于提高LED芯片的制作质量。
本发明授权一种LED晶圆片的裂片方法在权利要求书中公布了:1.一种LED晶圆片的裂片方法,其特征在于,所述裂片方法包括以下步骤: S1、在完成划片的LED晶圆片的正面贴上白膜,并将所述LED晶圆片的背面朝上放置在裂片机的工作台上; S2、复位所述裂片机的劈刀和承受台; 使所述劈刀对准所述LED晶圆片的背面,使所述承受台对准所述LED晶圆片的正面,操作所述劈刀对准所述承受台的间隙中央; S3、操作所述裂片机的图像识别系统获取所述LED晶圆片正面的原始晶粒图像,并基于所述原始晶粒图像对所述LED晶圆片进行晶粒分区; 所述LED晶圆片的内接正方形区域为A1区,所述LED晶圆片的非内接正方形区域为A2区; S4、启动所述裂片机,所述劈刀基于所述晶粒分区所划分的区域对所述LED晶圆片进行裂片; 当所述劈刀仅对所述A2区进行劈裂时,控制所述承受台的间隙间距为c2;当所述劈刀对所述A1区和所述A2区同时进行劈裂时,控制所述承受台的间隙间距为c1,c1>c2;单个完整晶粒的X轴方向的长度为a,单个完整晶粒的Y轴方向的长度为b,所述a、所述b和所述c1的约束关系为:a≤c1≤1.5a,或b≤c1≤1.5b;所述a、所述b和所述c2的约束关系为:0.5a≤c2≤0.8a,或0.5b≤c2≤0.8b; 其中,所述裂片方法还包括: 在启动所述裂片机之前,操作所述裂片机的激光测厚仪对所述LED晶圆片的厚度进行测量,解析出所述LED晶圆片的厚度整体分布,并计算出所述LED晶圆片的平均厚度h;将所述LED晶圆片上厚度大于所述平均厚度h的区域划分为H1区,将所述LED晶圆片上厚度等于所述平均厚度h的区域划分为H2区,将所述LED晶圆片上厚度小于所述平均厚度h的区域划分为H3区; 所述劈刀通过击锤敲击劈裂所述LED晶圆片,当所述劈刀将要劈裂的区域中,所述H1区的占比大于等于二分之一时,控制所述击锤的敲击力度为G1;当所述劈刀将要劈裂的区域中,所述H2区的占比大于等于二分之一时,控制所述击锤的敲击力度为G3;当所述劈刀将要劈裂的区域中,所述H3区的占比大于等于二分之一时,控制所述击锤的敲击力度为G4;当所述劈刀将要劈裂的区域中,所述H1区、所述H2区和所述H3区的占比均小于二分之一时,控制所述击锤的敲击力度为G2,G1>G2>G3>G4。
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