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龙图腾网获悉海目星激光科技集团股份有限公司申请的专利全自动扩晶设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117690831B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311750951.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权全自动扩晶设备是由黄柏源;涂渭清;王元召;彭信翰;徐念;郭林豪;黄宇星;何卓俊设计研发完成，并于2023-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本全自动扩晶设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种全自动扩晶设备，全自动扩晶设备包括工作台、存料机构、取料机构、固膜机构、扩膜机构、视觉检测机构以及切膜机构；存料机构、取料机构、固膜机构、扩膜机构、视觉检测机构以及切膜机构均设置于工作台上，取料机构、切膜机构以及视觉检测机构均能够在工作台的上方自由运动；存料机构用于存放工件，取料机构用于上料或者下料工件；固膜机构用于固定或者释放工件，扩模机构用于拉伸位于固膜机构上的工件，视觉检测机构用于检测被拉伸后的工件上的各个晶粒之间的间距，切膜机构用于裁切被拉伸后的工件的边缘。通过上述设置，有效地解决现有的扩晶机自动化程度低而导致生产效率低的问题。

本发明授权全自动扩晶设备在权利要求书中公布了：1.一种全自动扩晶设备，其特征在于，所述全自动扩晶设备包括工作台、存料机构、取料机构、固膜机构、扩膜机构、视觉检测机构以及切膜机构；其中，所述存料机构、所述取料机构、所述固膜机构、所述扩膜机构、所述视觉检测机构以及所述切膜机构均设置于所述工作台上，所述取料机构、所述切膜机构以及所述视觉检测机构均能够在所述工作台的上方自由运动； 所述存料机构用于存放工件，所述取料机构用于从所述存料机构夹取工件并将工件转运至所述固膜机构上，或者从所述固膜机构上夹取加工好的工件并将加工好的工件转运至所述存料机构上； 所述固膜机构用于固定或者释放工件，所述扩膜机构用于拉伸位于所述固膜机构上的工件，所述视觉检测机构用于检测被拉伸后的工件上的各个晶粒之间的间距，所述切膜机构用于裁切被拉伸后的工件的边缘； 所述扩膜机构包括多个拉伸模组，所述多个拉伸模组均设置于所述工作台上，所述多个拉伸模组沿所述固膜机构的周向方向间隔分布，每一所述拉伸模组具有夹持工件边缘的夹持状态和释放工件边缘的释放状态； 在所述夹持状态下，每一所述拉伸模组沿远离工件的中心的方向拉伸工件；在所述释放状态下，每一所述拉伸模组释放工件； 所述固膜机构包括升降组件和吸附组件，所述升降组件安装于所述工作台，所述吸附组件连接于所述升降组件，所述升降组件用于驱使所述吸附组件在上下方向移动，所述吸附组件用于吸附固定或者释放工件。

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