长鑫存储技术有限公司修春雨获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利净化气体的控制方法及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117772706B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211154979.9，技术领域涉及：B08B5/02；该发明授权净化气体的控制方法及半导体设备是由修春雨;宛伟;石夏雨;常苏生设计研发完成，并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本净化气体的控制方法及半导体设备在说明书摘要公布了：本公开提供了一种净化气体的控制方法及半导体设备，净化气体的控制方法包括：获取晶圆传送盒相对机台的位置信息和或机台的运行信息；根据位置信息和或运行信息，确定运行阶段；根据运行阶段，控制净化气体的流量。本公开中，通过获取晶圆传送盒相对机台的位置信息和或机台的运行信息，以确定晶圆传送盒的运行阶段，并根据不同的运行阶段输出不同流量的净化气体，以使净化气体的流量与运行阶段相适配，不仅能够改善气体凝析导致半导体产品出现缺陷的问题，还能够节省净化气体流量，进而节省生产成本。
本发明授权净化气体的控制方法及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种净化气体的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括： 获取晶圆传送盒相对机台的位置信息和或机台的运行信息； 根据所述位置信息和或所述运行信息，确定运行阶段，具体包括：所述晶圆传送盒相对所述机台的距离逐渐减小至第一预设距离时，确定晶圆传送盒不断接近但未达到机台的装载端，确定所述晶圆传送盒运行至第一阶段；所述晶圆传送盒运动至所述机台并与所述机台锁紧时，确定所述晶圆传送盒运行至第二阶段； 根据所述运行阶段，控制净化气体的流量，具体包括：当所述晶圆传送盒运行至所述第一阶段时，控制净化气体的流量为第一预设流量；当所述晶圆传送盒运行至所述第二阶段时，控制净化气体的流量为第二预设流量，所述第一预设流量小于所述第二预设流量。
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