深圳先进技术研究院李文杰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳先进技术研究院申请的专利一种铜铟镓硒四元靶材的绑定工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118166321B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410264811.6，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种铜铟镓硒四元靶材的绑定工艺是由李文杰;王子龙;霍少伟;杨春雷;李伟民;钟国华;陈明;冯叶;宁德;邵龑;张杰;郑雪;吴唯;胡小华;黄俏俏设计研发完成，并于2024-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铜铟镓硒四元靶材的绑定工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及靶材生产加工技术领域。本发明提供了一种铜铟镓硒四元靶材的绑定工艺。本发明提供的铜铟镓硒四元靶材的绑定工艺，通过使用低熔点铟锡合金和高熔点铟双层材料对铜背板和四元材料靶材CIGS进行绑定，有效避免在加热过程中高熔点金属产生的残余应力对靶材造成的影响，大大提高了靶材绑定过程中的稳定性和准确性，有效消除了在使用过程中靶材开裂的可能性；同时避免了低熔点金属在溅射过程中出现熔化的问题，对靶材的使用造成不良的影响。
本发明授权一种铜铟镓硒四元靶材的绑定工艺在权利要求书中公布了：1.一种铜铟镓硒四元靶材的绑定工艺，其特征在于，包括以下步骤： 将铜铟镓硒四元靶材进行加热； 将铜背板进行加热； 将铟锡合金加热熔化，将熔化后的铟锡合金涂覆在加热后的铜铟镓硒四元靶材表面； 将铟加热熔化，将熔化后的铟涂覆在加热后的铜背板表面； 将铟涂覆的铜背板和铟锡合金涂覆的铜铟镓硒四元靶材贴合且使得铟和铟锡合金接触，冷却降温。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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