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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种基于灰度-高度映射的快速白光干涉在位测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118463850B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410663555.8，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于灰度-高度映射的快速白光干涉在位测量方法是由朱志伟;孟定坤;黄鹏设计研发完成，并于2024-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于灰度-高度映射的快速白光干涉在位测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于灰度‑高度映射的快速白光干涉在位测量方法。本发明基于白光干涉原理，在测量前通过对与被测表面具有相同材质的平面进行垂直方向扫描，记录不同采样高度的干涉图像，得到一组干涉信号，将其干涉相干峰对齐并进行滤波降噪处理，建立灰度‑高度映射；在测量时以特定间隔采集两幅干涉图像，分别找到两组灰度对应的可能高度点集，通过找两组点集中差值最小的点，得到对应像素点的重建高度；然后通过相邻像素点高度差值大小滤除出现整周期误差像素点，标记出可靠点，通过可靠点插值实现微结构表面形貌的快速重建。本发明能够在在保持和扫描白光干涉方法相当精度的前提下，减少所需要的图像数量，大幅提高测量效率。

本发明授权一种基于灰度-高度映射的快速白光干涉在位测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于灰度‑高度映射的快速白光干涉在位测量方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1：测量前通过白光干涉装置对与被测表面具有相同材质的平面进行垂直方向扫描，记录不同采样高度的干涉图像，得到一组干涉信号，将干涉信号相干峰对齐并进行滤波降噪处理，建立灰度‑高度映射； 步骤2：对被测表面白光干涉条纹进行采样：首先，根据干涉图像调整白光干涉装置与被测表面的距离，使干涉图像满足采样条件，拍摄第一张干涉图像，获得灰度矩阵1；然后，将白光干涉装置沿着垂直于被测表面的方向移动距离d，再拍摄第二张干涉图像，得到灰度矩阵2； 步骤3：根据灰度‑高度映射，分别找出两组灰度矩阵每个像素点灰度值对应的多个高度值； 步骤4：将第一组灰度矩阵中每个像素点灰度值对应的多个高度值设为第一组位置点，用第二组灰度矩阵中每个像素点灰度值对应的多个高度值减去移动的距离d后得到第二组位置点； 步骤5：找到每个像素点中两组位置点中差值绝对值最小的两个位置点，两个位置点的高度值的平均值即为该像素点重建出的高度Zi，j，其中i和j表示像素点位置，即灰度矩阵中第i行第j列的像素点； 步骤6：使用可靠点标记算法对每个像素点重建出的高度进行处理：通过使用遍历程序比较所有相邻像素点的高度值，将相邻像素点的高度的差值dh1与设定的阈值h1进行比较，标记出可靠点，阈值h1被设置为小于白光干涉信号平均周期长度； 步骤7：将所有可靠点进行插值，即可得到被测表面形貌。

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