华南理工大学杨中民获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种多波长非线性飞秒激光加工方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118492604B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410429999.5,技术领域涉及:B23K26/00;该发明授权一种多波长非线性飞秒激光加工方法及系统是由杨中民;郝默雷;韦小明设计研发完成,并于2024-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多波长非线性飞秒激光加工方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多波长非线性飞秒激光加工方法及系统。本发明使用多个高功率飞秒激光器发射不同波长的高功率飞秒激光;通过光程差与群延迟控制模块对各个激光器发出激光的光程差和群延迟进行精确控制;将多波长飞秒激光入射三维位移聚焦模块;最终垂直入射待加工样品的上表面,完成飞秒激光加工。本发明通过精确调制各波长激光脉冲在时域上的相对位置,可以对样品加工区域的温度场实现动态非线性精准调控,提升精密加工效率、质量和加工深度,拓展飞秒激光精密加工应用范围。
本发明授权一种多波长非线性飞秒激光加工方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种多波长非线性飞秒激光加工方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、使用一组高功率飞秒激光器产生多路高功率飞秒激光;所述一组高功率飞秒激光器包括两个或两个以上的可输出不同波长的高功率飞秒激光器,用于产生多路至少包括两个不同波长的高功率飞秒激光;各个高功率飞秒激光器输出的高功率飞秒激光重复频率一致,输出功率可调; S2、使步骤S1中得到的各路高功率飞秒激光分别经一对角度可调的薄膜反射镜,然后使用合束镜对各路反射光进行合束; S3、使步骤S2中得到的经过合束后的光束入射分束镜,用于将各路高功率飞秒激光分为信号光和闲置光两路; S4、使步骤S3中得到的信号光入射光电探测器,将光信号转为电信号,然后通过光程差与群延迟探测器,进而对薄膜反射镜对进行调控,控制各路高功率飞秒激光的光程差与群时延,对步骤S3中的闲置光进行调节;在所述光电探测器将各路信号光信号转为电信号后,光程差与群延迟探测器探测各路高功率飞秒激光之间的相对时延并计算出光程差,进而调整各个薄膜反射镜对的倾斜角,对各路高功率飞秒激光的光程差进行补偿,实现对闲置光的时域调节; 经过调节后,根据实际应用场景,精确分配各路激光作用在样品表面的时间,精确度达到fs量级; S5、使经过步骤S4调节的闲置光通过光束聚焦模组,聚焦后的激光垂直照射至待加工样品的上表面,通过各路飞秒激光对加工样品的不同作用效果,实现对非线性温度场进行调控,最终完成加工;所述温度场指的是经过光束聚焦模组聚焦后的激光照射在待加工样品处的局部温度场,所述非线性指的是待加工样品在温度上升期间,升温方式为非线性升温;其中对非线性温度场进行调控的方式包括:改变各个高功率飞秒激光器的输出功率、通过光程差与群延迟控制模块控制不同高功率飞秒激光器发出的高功率飞秒激光的光程差与群延迟、通过包括光束聚焦模组的三维位移聚焦模块控制出射激光在待加工样品表面的作用面积。
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