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株式会社东京精密山口晃获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社东京精密申请的专利晶片测试系统、探针卡更换方法以及探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118556283B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202280089238.9,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权晶片测试系统、探针卡更换方法以及探测器是由山口晃;佐藤雄太;笠井直树;山添直幸;安中哲也;泷井数马;青木彻平;川崎渡;石田大树;井口靖仁设计研发完成,并于2022-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

晶片测试系统、探针卡更换方法以及探测器在说明书摘要公布了:本发明提供能够抑制设置空间的增加并且以低成本使探针卡的更换自动化的晶片测试系统、探针卡更换方法以及探测器。晶片测试系统具备:探测器,其具备保持半导体晶片的吸盘及具有探针的探针卡,并使探针与形成于半导体晶片的多个半导体芯片接触而进行半导体芯片的检查;顶棚行驶式无人搬运车,其将收纳检查前的多个半导体晶片的箱匣向探测器搬入并且将收纳检查完毕的多个半导体晶片的箱匣从探测器回收;搬运控制部,其控制顶棚行驶式无人搬运车,而将探针卡在探测器中预先设定的探针卡的更换位置与位于探测器以外的场所的探针卡的保管场所之间搬运;以及卡搬运机构,其将探针卡在探测器内的保持位置与更换位置之间搬运。

本发明授权晶片测试系统、探针卡更换方法以及探测器在权利要求书中公布了:1.一种晶片测试系统,其中,所述晶片测试系统具备: 探测器,其具备保持半导体晶片的吸盘及具有探针的探针卡,并使所述探针与形成于所述半导体晶片的多个半导体芯片接触而进行所述半导体芯片的检查; 顶棚行驶式无人搬运车,其在保持有收纳多个所述半导体晶片的箱匣的状态下沿着搬运轨道移动,且将收纳检查前的多个所述半导体晶片的所述箱匣向所述探测器搬入并且将收纳检查完毕的多个所述半导体晶片的所述箱匣从所述探测器回收; 搬运控制部,其控制所述顶棚行驶式无人搬运车,而将所述探针卡在所述探测器中预先设定的所述探针卡的更换位置与位于所述探测器以外的场所的所述探针卡的保管场所之间搬运; 卡搬运机构,其设置于所述探测器,并将所述探针卡在被保持在所述探测器内的保持位置与所述更换位置之间搬运; 分离控制部,其控制所述卡搬运机构,而执行将更换前的所述探针卡从所述保持位置搬运到所述更换位置的分离处理;以及装配控制部,其控制所述卡搬运机构,而执行将新的所述探针卡从所述更换位置搬运到所述保持位置的装配处理,所述探测器具备: 壳体,其收纳所述吸盘、所述探针卡及所述卡搬运机构; 开口部,其形成于所述壳体,并使所述更换位置向所述壳体的外部露出; 门,其能够切换为将所述开口部开放的开状态与将所述开口部覆盖的闭状态; 门开闭机构,其用于将所述门切换为所述开状态与所述闭状态;以及门开闭控制部,其在所述分离处理中驱动所述门开闭机构而将所述门从所述闭状态切换为所述开状态,并且在所述装配处理中驱动所述门开闭机构而将所述门从所述开状态切换为所述闭状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社东京精密,其通讯地址为:日本;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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