南开大学张磊获国家专利权
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龙图腾网获悉南开大学申请的专利一类有机锡枝状化合物及其光刻胶组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118791518B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410789349.1,技术领域涉及:C07F7/22;该发明授权一类有机锡枝状化合物及其光刻胶组合物是由张磊;于泽琦设计研发完成,并于2024-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一类有机锡枝状化合物及其光刻胶组合物在说明书摘要公布了:一种有机锡枝状化合物及其光刻胶组合物。所述有机锡枝状化合物具有如下式I所示分子结构,结构式中,Ra1‑Ra4相同,选自氢原子、甲基、异丙基或乙氧基;Rb1‑Rb4相同,选自氢原子、甲基或乙氧基;n‑Bu表示正丁基。本发明中有机锡枝状化合物具有高效吸光性的锡原子、确定的枝状分子结构和单一的分子尺寸,使该化合物满足高灵敏度和高分辨率的负性光刻要求。本发明还公开了包括上述有机锡枝状化合物的合成方法、光刻胶组合物及其用于光刻的具体使用方法。
本发明授权一类有机锡枝状化合物及其光刻胶组合物在权利要求书中公布了:1.一类有机锡枝状化合物,具有如下式I所示的结构,I其中: 结构式中,Ra1‑ Ra4相同,选自氢原子、甲基、异丙基或乙氧基;Rb1‑ Rb4相同,选自氢原子、甲基或乙氧基;n‑Bu表示正丁基。
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