赫智科技(苏州)有限公司陶一晨获国家专利权
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龙图腾网获悉赫智科技(苏州)有限公司申请的专利光刻处理方法、装置和电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118838130B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411185608.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻处理方法、装置和电子设备是由陶一晨;姚兆阳;严振中;吴阳设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻处理方法、装置和电子设备在说明书摘要公布了：本公开关于一种光刻处理方法、装置和电子设备，该方法包括显示光刻设备上基板对应的预设定位地图；响应于针对预设定位地图中基板的已光刻区域的定位指令，获取预设定位地图中已光刻区域的区域中心对应的第一位置信息，将第一位置信息作为待光刻图纸的中心在预设定位地图中的第二位置信息；根据第二位置信息，确定待光刻图纸的中心在基板上的第三位置信息；基于第三位置信息和基板中心位置信息，移动预设平台，以使光刻设备对准待光刻图纸的中心在基板上的位置，并进行光刻。利用本公开实施例可以快速查找已光刻区域，实现对待光刻图纸的中心的准确定位，提升光刻处理的精度和效率，减小定位误差。
本发明授权光刻处理方法、装置和电子设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻处理方法，其特征在于，所述方法包括： 显示光刻设备上基板对应的预设定位地图，所述预设定位地图是基于所述基板的基板形状参数和所述基板对应的基板中心位置信息生成的；所述基板中心位置信息是以所述光刻设备上放置所述基板的预设平台的中心为原点的平台坐标系下所述基板的中心位置信息；所述基板形状参数和所述基板中心位置信息是在所述预设平台沿预设方向运动的过程中，对放置在所述预设平台上的基板进行边缘检测得到的；所述基板包括已光刻区域； 响应于针对所述预设定位地图中所述基板的已光刻区域的定位指令，获取所述预设定位地图中所述已光刻区域的区域中心对应的第一位置信息，将所述第一位置信息作为待光刻图纸的中心在所述预设定位地图中的第二位置信息； 根据所述第二位置信息，确定所述待光刻图纸的中心在所述基板上的第三位置信息； 基于所述第三位置信息和所述基板中心位置信息，移动所述预设平台，以使所述光刻设备对准所述待光刻图纸的中心在所述基板上的位置，并进行光刻。
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