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龙图腾网获悉华虹半导体(无锡)有限公司;上海华虹宏力半导体制造有限公司申请的专利OPC不同配置模型的质量评价方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119006355B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410246442.8，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权OPC不同配置模型的质量评价方法是由袁帅;袁春雨;金晓亮设计研发完成，并于2024-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本OPC不同配置模型的质量评价方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种OPC不同配置模型的质量评价方法，包括：步骤一、提供不同的OPC工具软件。步骤二、在版图中截取待评价结构区域。步骤三、依次采用各OPC工具软件对待评价结构区域中的各待评价结构图形进行仿真并得到对应的仿真图形。步骤四、将各仿真图形叠加在一起。步骤五、进行网格划分，设置各格点的权重以及设置各仿真图形对应的格点信息；对各仿真图形对应的格点信息进行矩阵向量化处理并得到矩阵向量。步骤六、建立相似度评价函数，将需要比较的两个OPC工具软件对应的仿真图形的各矩阵向量代入相似度评价函数中得到相似度评价值，基于相似度评价值判断待评价结构区域对应的OPC工具软件的模型的准确性。

本发明授权OPC不同配置模型的质量评价方法在权利要求书中公布了：1.一种OPC不同配置模型的质量评价方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一、提供不同的OPC工具软件，各所述OPC工具软件的OPC模型不同； 步骤二、在版图中截取待评价结构区域，所述待评价结构区域中具有一个以上的待评价结构图形； 步骤三、依次采用各所述OPC工具软件对所述待评价结构区域中的各所述待评价结构图形进行仿真并得到对应的仿真图形； 步骤四、将各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形叠加在一起； 步骤五、对各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形进行网格划分，设置各格点的权重以及设置各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形对应的格点信息；对各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形对应的格点信息进行矩阵向量化处理并得到各所述OPC工具软件对应的所述仿真图形对应的各矩阵向量； 步骤六、建立相似度评价函数，将需要比较的两个所述OPC工具软件对应的所述仿真图形的各矩阵向量代入所述相似度评价函数中得到相似度评价值，基于所述相似度评价值判断所述待评价结构区域对应的所述OPC工具软件的模型的准确性。

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