中国科学院微电子研究所李君获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种太赫兹喇叭天线及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119209010B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411442421.X,技术领域涉及:H01Q13/02;该发明授权一种太赫兹喇叭天线及其制备方法是由李君;张昊华;武晓萌;张欣宇;黄海设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种太赫兹喇叭天线及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种太赫兹喇叭天线及其制备方法,涉及移动通信系统技术领域。将天线层设置为具有喇叭天线凹槽结构的天线层,由于喇叭天线自身优势,使得太赫兹喇叭天线具有结构简单、便于控制增益、频率特性优良、损耗小等优点。并且,本申请提供的天线层和射频层通过辐射电极和金属薄膜键合实现固定,不仅实现了低反射的互连通道,还能够将THz波限制在键合区域内,避免了天线层和射频层堆叠带来的电磁泄露的问题,提高了太赫兹喇叭天线的性能。本申请提供天线层和射频层均采用玻璃基板,玻璃基板具有机械强度高、介电损耗小等优势,且玻璃基板能够承受更高的温度,从而减少了基板翘曲和变形的问题,进而能够提高太赫兹喇叭天线的制备质量。
本发明授权一种太赫兹喇叭天线及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种太赫兹喇叭天线,其特征在于,包括: 天线层,所述天线层包括:第一玻璃基板,所述第一玻璃基板包括相对的第一表面和第二表面;至少一个腔体,所述腔体沿所述第一表面至所述第二表面的方向贯穿所述第一玻璃基板,所述腔体包括位于第一表面一侧的喇叭天线凹槽和位于所述第二表面一侧的波导开口;金属薄膜,所述金属薄膜至少覆盖所述第一表面、所述第二表面和所述腔体的内壁; 射频层,所述射频层包括:第二玻璃基板,所述第二玻璃基板包括相对的第三表面和第四表面,所述第三表面和所述第二表面相对;太赫兹芯片,所述太赫兹芯片固定在所述第二玻璃基板内;辐射电极,所述辐射电极位于所述第三表面一侧且与所述波导开口对应,所述辐射电极与所述金属薄膜在所述波导开口周围的部分键合;互连线路,所述互连线路位于所述第四表面,且所述互连线路与所述太赫兹芯片电连接;信号传输线,所述信号传输线沿所述第三表面至所述第四表面的方向贯穿所述第二玻璃基板,且所述信号传输线与所述辐射电极和所述互连线路均电连接。
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