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苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司朴钟熏获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司申请的专利闸门开关装置以及闸门控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119217525B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411383184.4,技术领域涉及:B28B17/00;该发明授权闸门开关装置以及闸门控制方法是由朴钟熏;崔海珍;金锡津设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

闸门开关装置以及闸门控制方法在说明书摘要公布了:本发明属于碳化硅材料制造技术领域,公开了一种闸门控制方法以及闸门开关装置。闸门控制方法,包括响应于罩壳内第一腔体和或第二腔体的气氛环境构建完成所产生的第一信号,驱动闸门自第一位置运动至第二位置,暴露所述罩壳上位于第一腔体和第二腔体之间的开口;响应于反应容器自第一腔体运动至第二腔体的指定位置后所产生的第二信号,驱动闸门自第二位置运动至第一位置,封闭所述罩壳上位于第一腔体和第二腔体之间的开口。本发明中的闸门控制方法以及闸门开关装置,能够基于气氛检测组件所产生的第一信号,以及基于位置检测组件所产生的第二信号,通过驱动组件驱动闸门运动,从而实现了自动化控制,能够有效地提高了工作效率。

本发明授权闸门开关装置以及闸门控制方法在权利要求书中公布了:1.一种闸门控制方法,应用于碳化硅材料的化学气相沉积,其特征在于,包括: 响应于罩壳内第一腔体和或第二腔体的气氛环境构建完成所产生的第一信号,驱动闸门自第一位置运动至第二位置,暴露所述罩壳上位于第一腔体和第二腔体之间的开口; 响应于反应容器自第一腔体运动至第二腔体的指定位置后所产生的第二信号,驱动闸门自第二位置运动至第一位置,封闭所述罩壳上位于第一腔体和第二腔体之间的开口; 当所述闸门位于第一位置时,检测第一腔体和或第二腔体的气压,并生成对应的气压数据; 根据气压数据与对应的目标气压数据的对比结果,生成气压反馈信息; 响应于气压反馈信息,驱动闸门朝着第二位置指向第一位置的方向继续移动设定距离; 将所述驱动闸门的当前所在位置设定为新的第一位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司,其通讯地址为:215127 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区启明路8号综合保税区B区H厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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