无锡中斯盾科技有限公司丁劲锋获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡中斯盾科技有限公司申请的专利一种晶圆取片器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119275148B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411188873.X,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种晶圆取片器是由丁劲锋;刘念;莫玲莹;覃发超;华鸣峰设计研发完成,并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆取片器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆取片器,涉及晶圆加工技术领域,解决了现有的晶圆取片器通常只能一次取一片晶圆,取片效率不高以及取片之前难以自行扶正导致取片不精准的问题。该晶圆取片器,包括安装板,所述安装板的一侧固定有支撑架,所述支撑架的前内壁上转动连接有转筒,所述支撑架的后内壁上固定有固定筒,所述转筒转动连接在固定筒的外侧,所述转筒的侧壁上固定有限位套筒,所述限位套筒内滑动连接有活动套筒,所述活动套筒的外端固定有自动取料机构;在本发明中,转筒和四个限位套筒可整体旋转,方便轮流使用四个自动取料机构来取料,方便一次性拿取四个晶圆,以便提高取片效率,在取片之前可利用夹块来夹持扶正晶圆,保证精准吸取晶圆。
本发明授权一种晶圆取片器在权利要求书中公布了:1.一种晶圆取片器,包括安装板,其特征在于:所述安装板的一侧固定有支撑架,所述支撑架的前内壁上转动连接有转筒,所述支撑架的后内壁上固定有固定筒,所述转筒转动连接在固定筒的外侧,所述转筒的侧壁上固定有限位套筒,所述限位套筒内滑动连接有活动套筒,所述活动套筒的外端固定有自动取料机构; 其中,所述自动取料机构包括有: 支撑板,所述支撑板的外端面滑动连接有滑块,且支撑板的外侧通过电动伸缩柱与移动板相连接,所述移动板的外端面固定有电动吸盘; 第二油槽,所述第二油槽开设在滑块的内部,且第二油槽内滑动连接有第二活塞,所述第二活塞的外端固定有夹块,所述支撑板上固定有第三马达,且第三马达的输出端与齿盘相连接,所述支撑板内开设有凹槽,且齿盘转动连接在凹槽内,所述齿盘的外端面啮合连接有圆齿轮,所述圆齿轮的外端面固定有第二丝杆,所述支撑板的外端面开设有滑槽,所述第二丝杆转动连接在滑槽内,且第二丝杆的外侧螺纹连接有滑块,所述移动板的内端面固定有第一活塞,所述支撑板内开设有第一油槽,所述第一活塞滑动连接在第一油槽内,且第一油槽通过连接软管与第二油槽相连接,所述连接软管上固定有重球,且重球活动连接在滑槽内,所述滑块周向均匀分布在支撑板上,所述夹块的内端面固定有压力传感器。
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