苏州大学刘全获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种透射光栅及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119291824B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411270555.8,技术领域涉及:G02B5/18;该发明授权一种透射光栅及其制备方法是由刘全;冷江;王可欣;陈星宇;刘涛;陈志伟设计研发完成,并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种透射光栅及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种透射光栅及其制备方法,包括基底,其具有第一表面;光栅层,其包括阵列排布于所述第一表面的梯形光栅齿,所述光栅齿沿所述基底的厚度方向延伸设置,相邻的两个所述光栅齿之间具有间隙;介质层,其设置于所述光栅层的表面且填充间隙,介质层远离基底的一侧具有第二表面,第二表面与所述第一表面的间距和所述光栅齿的高度之间具有差值,差值为m;入射光经过光栅层内部朝向第二表面方向入射。本发明能够通过设计所述透射光栅的膜层结构及膜层尺寸,从而能够获取不同衍射效率和偏振度的透射光栅,能够便于在加工时对透射光栅膜层结构的尺寸进行精确把控,从而易于进行加工。
本发明授权一种透射光栅及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种透射光栅,其特征在于:包括,基底,其具有第一表面; 光栅层,其包括阵列排布于所述第一表面的梯形光栅齿,所述光栅齿沿所述基底的厚度方向延伸设置,相邻的两个所述光栅齿之间具有间隙; 介质层,其设置于所述光栅层的表面且填充所述间隙,所述介质层远离所述基底的一侧具有第二表面,所述第二表面与所述第一表面的间距和所述光栅齿的高度之间具有差值,所述差值为m; 入射光经过所述光栅层内部朝向所述第二表面方向入射,并在所述光栅层、介质层以及第二表面发生衍射效应以产生透射衍射光,所述透射衍射光经过所述介质层的所述第二表面出射; 所述介质层包括第一膜层和第二膜层,所述第一膜层覆盖于所述光栅层以及部分所述基底,所述第二膜层覆盖于所述第一膜层,所述第一膜层的厚度为m1,所述第二膜层的厚度为m2; 定义m的计算公式为公式1: ;其中,; ; 所述光栅齿的斜边角度θ为83度~88度;所述光栅齿的周期Λ为700nm~2000nm,所述光栅齿的底部宽度为a,所述光栅齿的中部宽度为b,所述光栅齿的高度为H,中部占空比f中=bΛ为0.39~0.48,深宽比HΛ为1.65~1.76。
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