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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利电子探测装置、电子信号探测方法及电子显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119314848B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411331728.2，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权电子探测装置、电子信号探测方法及电子显微镜是由孟庆浪设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子探测装置、电子信号探测方法及电子显微镜在说明书摘要公布了：本申请公开了一种电子探测装置、电子信号探测方法及电子显微镜。该电子探测装置包括第一对中组件、探测器组件、第二对中组件、物镜和用于放置测试样品的样品台。第一对中组件用于控制电子束偏转，以使偏转后的电子束偏离电子显微镜的镜筒轴线第一距离；第二对中组件用于控制偏转后的电子束再次偏转，以使电子束与镜筒轴线的距离小于预设距离；物镜用于对电子束进行汇聚并作用于测试样品，以产生返回电子信号，返回电子信号能量小于电子束能量；第二对中组件用于控制返回电子信号偏转，以使返回电子信号偏离镜筒轴线第二距离；探测器组件用于接收偏转后的返回电子信号。本申请实施例，实现了对返回电子信号的收集，避免了电子束质量的降低。

本发明授权电子探测装置、电子信号探测方法及电子显微镜在权利要求书中公布了：1.一种电子探测装置，其特征在于，应用于电子显微镜，所述电子探测装置包括：第一对中组件、探测器组件、第二对中组件、物镜和用于放置测试样品的样品台； 所述第一对中组件用于控制电子束偏转，以使偏转后的电子束偏离所述电子显微镜的镜筒轴线第一距离； 所述第二对中组件用于控制偏转后的电子束再次偏转，以使再次偏转后的电子束与镜筒轴线的距离小于预设距离； 所述物镜用于对经过所述第二对中组件偏转后的电子束进行汇聚，并使汇聚后的电子束作用于测试样品上，以使所述测试样品在所述电子束的作用下产生返回电子信号，返回电子信号能量小于电子束能量； 所述第二对中组件还用于控制所述返回电子信号偏转，以使偏转后的返回电子信号偏离所述镜筒轴线第二距离； 所述探测器组件偏离所述镜筒轴线，以避开穿过所述第一对中组件的电子束，所述探测器组件用于接收所述偏转后的返回电子信号； 所述第一对中组件、所述探测器组件、所述第二对中组件、所述物镜和所述样品台沿着所述镜筒轴线依次设置。

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