大连理工大学王晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种在谐波减速器上原位集成的薄膜式扭矩传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119427427B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411586135.0，技术领域涉及：B25J19/00；该发明授权一种在谐波减速器上原位集成的薄膜式扭矩传感器及其制备方法是由王晓东;沈文强;娄志峰;曹嘉鋆;杨金祎设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在谐波减速器上原位集成的薄膜式扭矩传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于机器人关节扭矩测量领域，提出一种在谐波减速器上原位集成的薄膜式扭矩传感器及其制备方法，薄膜式扭矩传感器原位集成在谐波减速器中柔轮法兰凹槽表面或法兰内侧平面，该薄膜式扭矩传感器自下而上包括中间过渡层薄膜、绝缘膜、扭矩敏感单元和保护膜。在柔轮法兰凹槽的一侧设置有薄膜式扭矩传感器的信号处理单元。扭矩敏感单元测得的扭转变形信息通过惠斯通电桥电路叠加后以电信号形式输出到信号处理单元。本发明的薄膜式扭矩传感器能够有效消除原位测量谐波减速器输出扭矩过程波发生器转动产生的干扰，获取准确的输出扭矩信息。通过本发明制备方法得到的薄膜传感器表面致密无孔。
本发明授权一种在谐波减速器上原位集成的薄膜式扭矩传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种在谐波减速器上原位集成的薄膜式扭矩传感器，其特征在于，薄膜式扭矩传感器原位集成在谐波减速器中柔轮1的法兰凹槽1‑1表面或法兰内侧1‑2平面；所述薄膜式扭矩传感器包括中间过渡层薄膜9、绝缘膜2、扭矩敏感单元3和保护膜4；所述中间过渡层薄膜9原位生长在所述柔轮1的法兰凹槽1‑1表面或法兰内侧1‑2平面； 所述绝缘膜2制备在所述中间过渡层薄膜9上；所述扭矩敏感单元3沉积在所述绝缘膜2表面；所述保护膜4覆盖在所述扭矩敏感单元3表面； 所述扭矩敏感单元3包括测量敏感栅5、横栅6、引线7和焊盘8；各测量敏感栅5之间通过横栅6连接构成回路，均匀布满于绝缘膜2表面的周向相同半径位置；所述焊盘8位于保护膜4覆盖以外的位置；焊盘8位于扭矩敏感单元3的两端位置； 所述测量敏感栅5的布置方向与所处法兰凹槽1‑1表面或法兰内侧1‑2平面处轴线方向间夹角为±45°。
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