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龙图腾网获悉山东力冠微电子装备有限公司申请的专利垂直型MOCVD匀气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119433512B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411776975.3，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权垂直型MOCVD匀气装置是由宋德鹏;陈占领;张正伟;张鸿志设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本垂直型MOCVD匀气装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种垂直型MOCVD匀气装置，包括：封盖法兰，具有中心孔；内管，与中心孔孔壁间形成过流间隙，内管相应提供内流道；套管，套在内管外，与内管间形成与所述过流间隙连通的外流道；MO源管接头，连接于所述内管；第一工艺气体管接头，连接于所述中心孔；中盘，连接于上盘下侧，并与上盘间形成有上匀气腔，且中盘上分布有座孔；布风管，安装于所述座孔；以及下盘，与中盘间形成有与所述内流道连通的下匀气腔；该下盘为多孔盘，下盘上的部分孔用作布风管穿过的过孔。依据本发明的匀气装置在确保匀气效果相对较好的条件下，还能够有效降低MO源与工艺气体预反应。

本发明授权垂直型MOCVD匀气装置在权利要求书中公布了：1.一种垂直型MOCVD匀气装置，其特征在于，包括： 封盖法兰，具有中心孔，基于封盖而具有内盖面和外盖面；所述封盖法兰为水冷法兰； 内管，穿过所述中心孔，该内管至少与中心孔配合部分的外径小于中心孔孔径，以在内管与中心孔孔壁间形成过流间隙，内管相应提供内流道； 套管，密封连接于封盖法兰的内盖面，并套在内管外，与内管间形成与所述过流间隙连通的外流道，且套管悬伸的末端具有上盘； MO源管接头，连接于所述内管，以向内流道提供MO源； 第一工艺气体管接头，连接于所述中心孔，以向外流道提供第一工艺气体； 中盘，连接于上盘下侧，并与上盘间形成有与所述外流道连通的上匀气腔，且中盘上分布有座孔； 布风管，一一对应地安装于所述座孔，并向下延伸；以及下盘，连接于中盘下侧，并与中盘间形成有与所述内流道连通的下匀气腔；该下盘为多孔盘，下盘上的部分孔用作布风管穿过的过孔； 套管自封盖法兰向下延伸的长度为反应腔直径的0.72~0.80倍； 所述内管包括相互间连接的第一内管段第二内管段，其中，第一内管段用于从外接入到反应腔，并部分地位于套管内；第一内管段的管径小于第二内管段的管径； 第二内管段大部分位于套管内，且相对于套管向下露出的端头用于内流道与所述下匀气腔的连通； 第二内管段与套管间通过复数个径向连接板连接，以用于换热； 相应地，套管用于与第二内管段配合的套管段的外表面设有换热翅片。

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