买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉河海大学申请的专利一种MEMS双层薄膜热膨胀系数测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119438298B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411591814.7，技术领域涉及：G01N25/16；该发明授权一种MEMS双层薄膜热膨胀系数测量装置及方法是由刘海韵;徐淑芳;张振;高红民设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS双层薄膜热膨胀系数测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS双层薄膜热膨胀系数测量装置及方法，所述测量装置包括：热执行器结构、位移测量结构、双层门型结构和补偿结构；所述测量方法包括，先对热执行器结构进行加热，得到水平位移数值s1，并获取热执行器加热前后的平均温度变化DT1；然后对双层门型结构进行加热，获取门型结构加热前后的平均温度变化DT2；在对双层门型结构进行加热的同时，再对热执行器结构进行加热，得到水平位移数值s2；由测量装置的几何尺寸、双层薄膜的杨氏模量E1和E2，温度变化DT1、温度变化DT2，以及水平位移数值s1和s2，计算得到双层薄膜的热膨胀系数；本发明设计的MEMS双层薄膜热膨胀系数测量装置与测量方法具有操作简单，成本低，测量速度快的优点，能够用于工艺线的参数监测。

本发明授权一种MEMS双层薄膜热膨胀系数测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS双层薄膜热膨胀系数测量装置，其特征在于，包括：热执行器结构、与热执行器结构相连的位移测量结构、双层门型结构和补偿结构； 所述热执行器结构包括：连接梁、连接在连接梁两侧的多个Z型热臂、第一锚区、第二锚区、设置在第一锚区上表面的第一金属电极和第二金属电极，以及设置在第二锚区上表面的第三金属电极和第四金属电极；热执行器结构关于连接梁呈对称设置；所述第一锚区和第二锚区分别置于连接梁的两侧，并与多个Z型热臂远离连接梁的一端连接； 所述位移测量结构包括：动齿、接触电极、分别设置在动齿两侧的第一定齿和第二定齿；所述接触电极设置在动齿的一端； 所述双层门型结构包括：门型梁、连接在门型梁固支端的第三锚区和第四锚区、设置在第三锚区上表面的第五金属电极和第六金属电极，以及设置在第四锚区上表面的第七金属电极和第八金属电极； 所述补偿结构包括：固支梁、分别连接在固支梁两端的第五锚区和第六锚区、设置在第五锚区上表面的第九金属电极和第十金属电极，以及设置在第六锚区上表面的第十一金属电极和第十二金属电极； 所述热执行器结构的连接梁与动齿远离接触电极的一端相连；所述位移测量结构的接触电极与双层门型结构之间存在空隙；所述连接梁、动齿、接触电极和门型梁均在同一水平轴线上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人河海大学，其通讯地址为：213200 江苏省常州市金坛区河海大道1915号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。