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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列及光刻装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480333B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411662234.2，技术领域涉及：H01F7/02；该发明授权一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列及光刻装置是由刘恩硕;樊春光;于旭阳;于程隆;赵勃设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列及光刻装置在说明书摘要公布了：本发明提出一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列及光刻装置，属于光刻机技术与超精密测量技术领域，解决了光刻机运动台系统精度低和稳定性差的问题，Halbach永磁阵列包括：若干个阵列单元；每个阵列单元包括两个N级磁钢、两个S级磁钢、16个柔性充磁的六棱柱磁钢、24个六棱柱磁钢和12个长方体磁钢。本发明通过优化设计拓扑结构，采用新型柔性充磁方法，大幅修正现有磁钢阵列的谐波分量畸变、周期性扭曲畸变和峰值波动畸变，使得三种畸变情况都远优于现有磁钢阵列，且周期性畸变几乎完全消除，非扫描方向波动畸变分散程度大幅减小，总谐波畸变率最大可修正至优化前五分之一。

本发明授权一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列及光刻装置在权利要求书中公布了：1.一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列，其特征在于，所述一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列的结构包括：若干个阵列单元； 所述每个阵列单元包括两个N级磁钢、两个S级磁钢、16个柔性充磁的六棱柱磁钢、24个另一种六棱柱磁钢和12个长方体磁钢； 所述12个长方体磁钢的充磁方向均为水平方向，所述24个另一种六棱柱磁钢的充磁方向与长方体磁钢一致，所述16个柔性充磁的六棱柱磁钢的充磁方向与N级磁钢、S级磁钢以及水平方向夹角为45°，所述16个柔性充磁的六棱柱磁钢、24个另一种六棱柱磁钢和12个长方体磁钢的充磁量均为1.31T； 所述每个阵列单元中的N级磁钢、S级磁钢与长方体磁钢为5行×5列排布，第一行、第三行和第五行中的第一列、第三列和第五列均为空隙，第二行中第二列为第一N级磁铁，第四行中第二列为第一S级磁铁，第二行中第四列为第二S级磁铁，第四行中第四列为第二N级磁铁，剩余为长方体磁钢； 所述16个柔性充磁的六棱柱磁钢和24个另一种六棱柱磁钢均设置在第一N级磁铁、第二N级磁铁、第一S级磁铁、第二S级磁铁和长方体磁钢四周，其中，设置在第一N级磁铁、第二N级磁铁、第一S级磁铁和第二S级磁铁四周的为柔性充磁的六棱柱磁钢，剩余为另一种六棱柱磁钢。

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