买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海图双精密装备有限公司申请的专利一种用于观察晶圆中心附件标记的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119511547B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411523280.4，技术领域涉及：G02B27/02；该发明授权一种用于观察晶圆中心附件标记的方法是由姜小光设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于观察晶圆中心附件标记的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于观察晶圆中心附件标记的方法，涉及晶圆加工技术领域，包括以下步骤；S1：晶圆上的标记通过通光孔反射至反光镜上，反光镜并将光线反射至左侧物镜上，并可观察到晶圆Y轴区域右侧的标记；S2：左侧物镜内的电动推杆运行时，电动推杆内的移动端移动时带动凸块移动，凸块施加挤压力带动挤压板向下移动，挤压板施加挤压力带动复位弹簧并推动滑动变阻器上的滑片移动，使滑动变阻器控制警示灯运行，提醒反光镜的角度调节到位置；左侧物镜和右侧物镜内均设有反光镜或反光棱镜，使得光线能够经过反光镜的反射，进入物镜并被观察到；使得左、右侧物镜无需越过晶圆Y轴即可同时观察到“盲区”中的标记。

本发明授权一种用于观察晶圆中心附件标记的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于观察晶圆中心附件标记的方法，其特征在于：包括以下步骤； S1：晶圆1上的标记2通过通光孔6反射至反光镜5上，反光镜5将光线反射至左侧物镜3和右侧物镜7，从而检查到晶圆1Y轴附近的标记2； 其中： 所述左侧物镜3内设有一反光镜5，左侧物镜3下方设有一通光孔6；反光镜5通过旋转轴4在左侧物镜3内转动； 所述反光镜5另一端与承接盘43转动连接，承接盘43外周壁固定连接有多组电磁弹簧42，电磁弹簧42的另一端固定连接有连接盘41，连接盘41的表面与电动推杆8转动连接，电动推杆8的另一端在左侧物镜3内转动； 所述电动推杆8移动端侧壁固定连接有一凸块9，且电动推杆8内侧壁滑动连接有一挤压板10，挤压板10通过一滑动杆11与复位弹簧12固定连接，复位弹簧12固定连接在电动推杆8内，电动推杆8内位于滑动杆11的下方固定连接有一滑动变阻器13，滑动变阻器13上的滑片与滑动杆11固定连接； 所述左侧物镜3上设有一警示灯，警示灯通过线缆与滑动变阻器13连接； 所述右侧物镜7与左侧物镜3的内部结构相同； S2：通过电动推杆8的移动端驱动凸块9移动，凸块9挤压滑动连接的挤压板10，使挤压板10通过滑动杆11同步压缩复位弹簧12并推动滑动变阻器13的滑片，点亮警示灯，指示反光镜5的角度调节到位置； S3：通过独立调节多组电磁弹簧42的弹性力，使承接盘43在连接盘41内进行微调，带动与承接盘43转动连接的反光镜5进行角度微调； 其中，所述多组电磁弹簧42呈圆周分布。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海图双精密装备有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区金海路955弄1号1层西侧；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。