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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利缺陷偏移距离监测系统及方法、晶圆缺陷检测方法、设备、介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542188B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411608135.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权缺陷偏移距离监测系统及方法、晶圆缺陷检测方法、设备、介质是由熊凯;王文强设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本缺陷偏移距离监测系统及方法、晶圆缺陷检测方法、设备、介质在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体芯片制造领域，本申请公开了缺陷偏移距离监测系统及方法、晶圆缺陷检测方法、设备、介质，本申请的缺陷偏移距离监测系统能够实现多台缺陷监测设备和多台缺陷复查设备之间的缺陷偏移距离修正配置，从而解决了因为缺陷偏移距离导致缺陷复查失败的问题，同时，本申请的实现多台缺陷监测设备和多台缺陷复查设备之间的缺陷偏移距离修正配置的方案的工作效率高，增加了制作芯片的工艺设备的跑货数，提高了工艺设备的利用率，减少了芯片的制造时间成本。此外，本申请还增加了对缺陷偏移距离值进行预警判断，更加准确地实现了多台缺陷监测设备和多台缺陷复查设备之间的缺陷偏移距离修正配置。

本发明授权缺陷偏移距离监测系统及方法、晶圆缺陷检测方法、设备、介质在权利要求书中公布了：1.一种缺陷偏移距离监测系统，其特征在于，所述系统用于包含多台光学缺陷监测设备和多台电子束缺陷复查设备的应用场所，且所述系统包括： 缺陷偏移距离数据库获取模块，用于获取并存储每台电子束缺陷复查设备与每台光学缺陷监测设备之间的缺陷偏移距离值形成缺陷偏移距离数据库； 与所述缺陷偏移距离数据库获取模块通信连接的可靠性判断模块，所述可靠性判断模块基于所述缺陷偏移距离数据库获取模块传输的所述缺陷偏移距离数据库进行数据处理及分析，并基于数据处理及分析结果判断所述缺陷偏移距离数据库是否具有电子束缺陷复查检测结果可靠性； 与所述可靠性判断模块和所述缺陷偏移距离数据库获取模块分别通信连接的缺陷偏移距离修正模块，所述缺陷偏移距离修正模块基于所述可靠性判断模块传输的电子束缺陷复查检测结果可靠性判断结果，得到所述缺陷偏移距离数据库中的每个缺陷偏移距离值的修正值，并将修正值传输给所述缺陷偏移距离数据库获取模块刷新形成修正后的缺陷偏移距离数据库；其中，当可靠性判断结果为具有可靠性时，修正值为0。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市昇维旭技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区新源三巷1号B栋104；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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