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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利基于干涉条纹聚焦的TSOM微结构线宽测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119554970B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411576526.4，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权基于干涉条纹聚焦的TSOM微结构线宽测量方法是由郭珍艳;杨文卓;高志山;袁群;刘晓璇;乔文佑设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于干涉条纹聚焦的TSOM微结构线宽测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于干涉条纹聚焦的TSOM微结构线宽测量方法，属于光学检测领域，步骤包括：采用低相干干涉光路，对微结构线宽样品进行过焦扫描，得到具有待测对象表面信息的图像序列；确定图像序列中干涉信号包络峰值索引；以该位置为聚焦平面建立待测对象的过焦扫描光学显微图像；利用时域有限差分算法以及角谱理论仿真不同线宽模型的低相干干涉过焦扫描散射光场图像，建立标准尺寸线宽模型数据库；结合库匹配算法提取出待测结构的线宽。本发明突破低相干干涉测量系统的衍射极限，提升系统的横向分辨率，实现超分辨测量线宽；同时通过干涉条纹精准定位聚焦平面，减小系统焦深引入的过焦扫描线宽测量误差，保证测量方法的有效性。

本发明授权基于干涉条纹聚焦的TSOM微结构线宽测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于干涉条纹聚焦的TSOM微结构线宽测量方法，其特征在于，步骤如下： 步骤1、通过低相干显微干涉仪对待测样品进行过焦扫描，得到包含待测样品表面信息的低相干干涉图像序列； 步骤2、基于低相干干涉图像序列，沿扫描高度提取待测样品散射光场的强度分布和低相干干涉信号，采用HDVSI算法计算低相干干涉信号包络峰值索引； 其中，采用HDVSI计算低相干干涉信号包络峰值索引h，具体包括： 使用重心法对低相干干涉信号包络峰值索引进行粗定位，得到粗定位索引h1，重心法公式如下： 式中，Mi为扫描过程中第i幅干涉图的对比度，i为干涉图像序号； 对比度算法公式如下： 式中，Ii为第i幅干涉图像的光强值； 使用正交解调四步移相算法对低相干干涉信号包络峰值索引进行精定位，得到精定位索引h2，正交解调四步移相算法公式如下： 式中，ΔΦ0为移相量； 计算索引中间变量hr1： 式中，round是函数四舍五入操作； 计算索引中间变量hr2： 计算比较两个索引中间变量与h1‑h2差值的绝对值，结果小的值作为最终索引中间变量hr； 低相干干涉信号包络峰值索引h： h＝hr+h2步骤3、以低相干干涉信号包络峰值索引所在扫描高度为聚焦平面，堆叠散射光场强度分布，构建待测样品的低相干干涉过焦扫描光学显微图像； 其中，堆叠散射光场强度分布，具体包括： 计算低相干干涉过焦扫描光学显微图像的中心平面所在索引hround： hround＝roundh以索引为hround的低相干干涉图像为中心平面，在低相干干涉图像序列中每间隔7倍移相量取一幅低相干干涉图像，计算各自的散射光场强度分布； 按各自扫描高度进行堆叠，正离焦方向与负离焦方向各堆叠20条散射光场强度分布曲线，共计41条曲线组成二维TSOM图像，即为待测样品的低相干干涉过焦扫描光学显微图像； 步骤4、对低相干干涉过焦扫描光学显微图像去除背景信号，保留待测样品不同离焦位置的散射光场，得到低相干干涉过焦扫描光学显微图像，作为测量图像； 步骤5、利用时域有限差分算法与角谱理论仿真不同线宽模型的低相干干涉过焦扫描散射光场图像，作为仿真图像，进而建立标准尺寸线宽模型数据库； 步骤6、将测量图像输入标准尺寸线宽模型数据库，基于库匹配算法，提取待测样品的线宽。

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